微结构光学表面纳米亚纳米尺度超精密加工工艺分析-analysis of nano-scale ultra-precision machining process for micro-structured optical surface namias.docxVIP

第一章绪论1.1课题来源及意义1.1.1课题来源本课题“微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密加工工艺研究”来源于苏州市科技计划（应用基础研究）“大口径线性取样光栅制造新方法新技术研究”项目（编号：SYG201115）、国家自然基金项目“大口径全息记录干涉光场多维主动稳定控制方法与技术”（编号、国家自然基金青年基金“脉冲压缩光栅超低衍射波像差新方法新技术研究”（编号以及江苏省高校自然科学重大项目“飞秒激光系统中小型化脉冲压缩器的研究”（编号：11KJA140001）。针对具有微结构的特殊光学表面纳米/亚纳米尺度超精密研磨加工进行工艺研究，旨在提高大口径取样光栅衍射效率均匀性技术指标，从而解决超强脉冲激光能量的准确测量问题。本课题通过理论分析和工艺实验，建立微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密研磨加工的初步工艺，为实现非周期微结构光学表面的定量加工以及线性取样光栅的制备提供工艺理论依据和技术途径。1.1.2课题研究背景及意义随着现代科学技术的发展与需要，激光技术正朝着超强、超快方向发展。超快超强激光为深入研究激光核聚变、强场物理、生物分子动力学等领域提供了先进的实验手段。在研究超强超快激光系统时，能量的大小是开展超强超快激光应用研究不可或缺的重要条件，也是衡量系统性能优劣的重要技术指标，因此，获取能量的准确信息是研究超强超快激光技术及应用中的重要问题。超强脉冲激光的持续时间短、每个脉冲能量大小及空间分布各异，能量测量需要准确、实时；又因为激光能量巨大，采用常规的测量工具无法进行直接测量，必须通过分束取样，然后测量分束光的能量来获得超强脉冲激光总能量的数值。目前，实现主激光束分束取样最有效的技术手段是光束取样光栅（BeamSamplingGrating，BSG）。采用全息技术并结合干法或湿法刻蚀技术在石英基底上制作出的BSG，兼具光束取样和光束聚焦两个功能，其测量系统的光学结构简单，具有测量精度高、非线性相位贡献较小、损伤阈值高、节省光学元件和光路空间等诸多优点，受到科研和工程技术人员的关注，成为获取超强脉冲激光能量参数的重要途径[8]。激光约束核聚变是产生取之不尽用之不竭“清洁能源”的重要途径，是各个国家能源战略的重要内容，而超强脉冲激光是实现激光约束核聚变的重要工具，其研究和应用价值不言自明。惯性约束核聚变（InertialConfinementFusion，ICF）[4][15]是实现受控热核聚变的有效途径之一[14]。ICF点火条件要求高温、高密度和一定的尺度，采用激光驱动还需要增压手段，其原理是利用高功率激光或粒子束作为驱动源，在一个很短的时间尺度内（纳秒级），将兆焦耳级的高强度能量脉冲激光均匀地照射于装填有氘氚燃料的靶丸外壳表面，在靶表面形成一层高温稀薄的等离子体，然后激光通过这层稀薄等离子体时，以逆韧致和某些等离子体的反常吸收过程被吸收。被吸收的激光能量迅速加热电子，温度可达到3~5千万度。高温电子通过电子热传导，又将大部分能量输运到临近吸收区的烧蚀层密度高的区域，形成一个高温烧蚀阵面（温度急剧变化的一个空间界面），并在此产生高的烧蚀压，它将激光压力提高近千倍，即形成高温高压等离子体，利用反冲压力，使靶的外壳非常快地向心运动，产生聚心冲击波，压缩氘氚燃料层到每立方厘米几百克质量的极高密度，并使局部燃料区域形成高温高密度热斑，达到点火条件，并且维持一定的约束时间，在高温高热度热核燃料来不及飞散之前，进行充分热核燃烧，放出大量聚变能[3]。图1-1激光核聚变示意图强激光系统是目前可实际应用于ICF的驱动器。1958年，美国劳伦斯2利弗莫尔国家实验室(LLNL)建立了当时最大的钕玻璃激光系统NOVA，在此基础上，美国又建立了国家点火装置（NationalIgnitionFacility，NIF），2012年3月，NIF最终投向靶室的192束激光束射出了1.875MJ的能量[18]。同时，其他国家也相应建立了自己的强激光系统，如法国的LMJ（LaserMégajoule）计划，英国的HELEN，日本的FIREX等，其中LMJ的规模与NIF相当，是欧洲最大的激光器[19]。国内于二十世纪六十年代开展了神光系列的工作：1985年7月，激光12号（后命名为：神光-I）装置按时建成并投入试运行。输出激光总功率达1014W量级，而激光时间只有10-10~10-11s。可用透镜聚焦到50毫微米的尺寸上，能产生131024W/cm2的功率密度。2000年，神光-II装置8路基频功率达到831014W，开始试运行打靶。2001年8月，神光-II装置建成，总输出功率达到或8万亿瓦/100皮秒，总体性能达到国际同类装置的先进水平。2004年4月，神光-II装置成功突破100万亿瓦大关，输出峰值功率达到120