TiZrN硬质膜组元配比对组织与性能的影响规律-材料科学与工程专业论文.docxVIP

沈阳大学硕士学位论文 论文题目： TiZrN 硬质膜组元配比对组织与性能的影响规律 作者： 刘冬 张钧 教授 沈阳大学 指 导 教 师： 单位： 协助指导教师： 单位： 单位： 论文答辩日期：2016 年 01 月 07 日 学位授予单位：沈 阳 大 学 A Master’s Thesis in Materials Science and Engineering Effect of Zr/Ti Atomic Ratio on Microstructure and Properties of (TiZr)N Hard Films Candidate: LiuDongLing Supervisor：Professor ZhangJun School of Mechanical Engineering Shenyang University January 07, 2016 独 创 性 说 明 本人郑重声明：所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写的研究成果，也不包含为获得 沈阳大学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工作 的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了 谢意。 签名： 日期： 关于论文使用授权的说明 本人完全了解沈阳大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校 有权保留送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅；学校可以公布论 文的全部或部分内容，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。 （保密的论文在解密后应遵循此规定） 签名： 导师签名： 日期： I I 摘要 本试验采用多弧离子镀技术，选取Ti单质靶、Zr单质靶和Ti-Zr合金靶三种靶材， 对其中的每两种靶材，即以Ti-Zr合金靶与Ti单质靶、Ti-Zr合金靶与Zr单质靶、Ti单质 靶和Zr单质靶在高速钢表面上进行一系列的镀膜试验。在偏压和氮气分压一定的条件 下，通过改变两个靶的电流进而获得不同成分含量的(TiZr)N硬质膜。采用配有能谱 的场发射扫描电镜（SEM）对膜层表面和断面的成分以及表面和断面形貌进行检测和 表征；利用纳米压痕仪测量(TiZr)N膜层的显微硬度；(TiZr)N膜层的膜/基附着力则通 过膜层附着力划痕仪来测试；利用X射线衍射（XRD）分析检测(TiZr)N膜层的相结构； 膜层的抗热震性则是在SG2-5-12电阻炉中600℃下进行试验测试。 试验中，在不同靶材、不同靶电流的条件下获得了具有不同 Zr 含量比例的(TiZr)N 膜层。膜层断面观察显示出(TiZr)N 膜层的厚度在 1.0~1.3μm，膜层断面的显微组织为 细小的柱状晶，并且发现(TiZr)N 膜层的断面成分分布呈一定的规律。通过 XRD 分析， 在不同成分下(TiZr)N 的相结构均具有面心立方结构，择优生长取向为(111)或是（111） 和（220）。 (TiZr)N 膜层的硬度随着化学成分的变化出现两次波峰，一次波谷，波谷位置的 成分在 50%左右。(TiZr)N 膜与基体附着力较好，摩擦系数范围为 0.25~0.55。(TiZr)N 膜层表面的液滴数量越少，液滴尺度越小，相应地，膜层的摩擦系数也较小，摩擦系 数曲线呈现为比较平滑特征。(TiZr)N 膜在经过多次温度为 600℃、时间为 15min 的 热震试验之后出现了微小裂纹，在继续的热震试验后依次看到膜层表面裂纹发展和延 伸，直至膜层剥落，抗热震试验结果显示(TiZr)N 膜层的抗热震及抗高温氧化性能比 较差。 关键词：多弧离子镀， (TiZr)N 硬质膜，相结构，膜/基附着力，硬度，抗热震性 II II Effect of Zr/Ti Atomic Ratio on Microstructure and Properties of (TiZr)N Hard Films Abstract The hard films of (TiZr)N are deposited on high speed steel substrates by multi arc ion plating technology using the combination of the two targets among the pure Ti target, the pure Zr target and the Ti-Zr alloy target. The (TiZr)N films with the varied compositions are deposited by changing the arc electric current and kee