β Ga2O3薄膜及其复合薄膜的激光分子束外延法制备及性能研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

山东师范大学硕士学位论文 独 创 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成 果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或 撰写过的研究成果，也不包含为获得 （注：如没有其他需要特别声明的， 本栏可空）或其他教育机构的学位或证书使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所 做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签名： 导师签字： 学 位 论 文 版 权 使 用 授 权 书 本学位论文作者完全了解 学校 有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国 家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权 学校 可 以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等 复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书） 学位论文作者签名： 导师签字： 签字日期： 年 月 日 签字日期： 年 月 日 山东 山东师范大学硕士学位论文 山东 山东师范大学硕士学位论文 I I II II 目 录 摘要 I Abstract III 第一章 绪论 1 1.1 透明导电氧化物薄膜简介 1 1.1.1 基于氧化锌的透明导电氧化物薄膜 1 1.1.2 基于氧化铟的透明导电氧化物薄膜 1 1.1.3 基于氧化锡的透明导电氧化物薄膜 1 1.2 氧化镓半导体材料的性质 2 1.2.1 氧化镓半导体简介及其晶体结构 2 1.2.2 β-Ga2O3 的性质 3 1.3 氧化镓薄膜的应用及前景 3 1.4 本论文的选题依据 5 第二章 薄膜的制备方法与表征技术简介 7 2.1 薄膜制备方法简介 7 HYPERLINK \l _TOC_250011 2.1.1 溶胶凝胶法（Sol-Gel） 7 HYPERLINK \l _TOC_250010 2.1.2 化学气相沉积法（CVD） 7 HYPERLINK \l _TOC_250009 2.1.3 脉冲激光沉积法(PLD) 8 2.1.4 喷雾热解法 9 2.1.5 磁控溅射法 9 HYPERLINK \l _TOC_250008 2.1.6 分子束外延法（MBE） 10 2.1.7 本文采用的方法概述 10 2.2 薄膜表征技术 12 HYPERLINK \l _TOC_250007 2.2.1 扫描电子显微镜（SEM）和冷场扫描电子显微镜（FE-SEM） 13 HYPERLINK \l _TOC_250006 2.2.2 原子力显微镜(AFM) 13 HYPERLINK \l _TOC_250005 2.2.3 X 射线衍射方法（XRD） 14 HYPERLINK \l _TOC_250004 2.2.4 紫外透射谱（UV-Vis transmission spectra） 15 HYPERLINK \l _TOC_250003 2.2.5 光致发光谱（PL） 15 HYPERLINK \l _TOC_250002 2.2.6 拉曼谱（Raman） 15 HYPERLINK \l _TOC_250001 2.2.7 X 射线光电子谱（XPS） 15 2.2.8 霍尔效应 16 HYPERLINK \l _TOC_250000 第三章 β-Ga2O3 薄膜的制备及光学特性分析 19 3.1 制备薄膜的主要材料、试剂及实验条件 19 3.2 实验结果与分析 19 3.2.1 薄膜的表面形貌分析 19 3.2.2 薄膜的 X 射线衍射谱分析 20 3.2.3 薄膜的光学特性 21 3.2.4 薄膜的拉曼谱 23 3.3 小结 24 第四章 β-Ga2O3/ZnO 复合薄膜的制备及其与 β-Ga2O3 薄膜的性质比较 25 4.1 β-Ga2O3/ZnO 复合薄膜（GZO）的制备 25 4.2 β-Ga2O3/ZnO 复合薄膜（GZO）与 β-Ga2O3 薄膜的性质比较 25 4.2.1 形貌的表征分析 25 4.2.2 X 射线衍射分析（XRD） 27 4.2.3 紫外透射谱分析 29 4.2.4 光致发光谱分析（PL） 31 4.3 小结 32 第五章 含 ZnO 纳米夹层的 β-Ga2O3 薄膜的制备及其与 β-Ga2O3 薄膜的性质比较 33 5.1 含 ZnO 纳米夹层的 β-Ga2O3 薄膜（GZG 薄膜）的制备 33 5.2 GZG 薄膜与 β-Ga2O3 薄膜的性质比较 33 5.2.1 X 射线衍射谱（XRD） 34 5.2.2 X 射线光电子能谱分析（XPS） 35 5.2.3 紫外透射谱