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脉冲激光参数在烧蚀固体材料过程中影响 　　[摘要]介绍长脉冲激光和短脉冲激光与固体材料相互作用时的物理模型。介绍激光作用过程中，脉宽、波长等激光参数对材料烧蚀阈值以及加工质量的影响。 　　[关键词]脉冲激光 激光参数 激光加工 烧蚀阈值 双温方程 　　中图分类号：TN2文献标识码：A文章编号：1671－7597（2009）0120115－02 　　 　　一、引言 　　 　　自1960年第一台激光器问世起，激光技术就变现出了其强大的生命力，发展到现在几乎渗透到自然科学的各个领域。随着激光技术的发展，激光与物质的相互作用不仅仅在纯物理研究领域里被人们普遍关注，而且在现代化生产和生活中也得到了广泛应用。激光与物质的相互作用的主要物理现象之一就是其热效应。这一过程跟多种因素有关，既与激光光源有关，又与作用材料及外部环境有关。材料本身的热耦合系数、热常数、吸收系数、反射系数等都会对作用过程产生影响；激光光源的因素主要有脉宽、能量、功率密度、激光波长、重复率、光强分布等，其中任何一种因素都会对作用过程产生重要影响。也正是激光参数的这种多样性给激光与物质相互作用这一研究领域增添了活力，进一步开拓激光的应用范围。 　　 　　二、理论模型 　　 　　（一）长脉冲激光与物质相互作用的理论模型 　　激光脉冲辐射到材料表面上，靶材就会吸收激光能量使自身温度升高，热量积累到一定程度就会对靶材造成破坏。这种热转换主要由三种方式：电子热传导、声子热传导和辐射热传导。长脉冲与物质相互作用的过程多用热传导方程来描述： 　　 　　式中K为热导率，P为材料密度，C为材料比热容，T为温度，t为时间变量， 为每单位时间、单位体积传递热给固体材料的加热速率。通常的假定条件如下： 　　（1）被加热材料是各向同性物质；（2）材料的热物理参数与温度无关或取特定的平均值；（3）忽略热传导中的辐射和对流，只考虑材料表面的热传导。 　　（二）超短脉冲激光与物质相互作用模型 　　随着激光技术的发展，出现了飞秒激光这种超短脉冲，其作用机理与传统的连续激光和长脉冲激光加工材料的机理不同，其激光场强非常高，是一个多光子吸收过程，非线性吸收是主要过程。为了研究这种超短脉冲与材料相互作用的过程，1975年S.I.Anisimov等提出了烧蚀金属的双温模型： 　　 　　上面两个方程分别代表了载流子系统和晶格系统的能量变化。X为垂直材料表面方向， 　　 　　三、脉冲激光参数对作用过程的影响 　　 　　（一）激光功率密度的影 　　激光束入射到材料表面上，靶材的温升与激光功率密度密切相关。当激光光斑半径、脉宽等参数、辐照时间相同时，材料的温升主要取决与激光功率密度。功率密度越大，材料的温升也越大越大，产生的破坏程度也越大。图1模拟了不同激光功率下光学原件表面的温升情况，从图中可以看出激光功率越高，光斑中心的温升越大，功率越低，光斑中心的温升越小。 　　 　　（二）光半径的影响 　　当入射激光功率和入射时间相同，光斑半径越小，则光斑功率密度越大，材料的温升也越大，造成的破坏程度也就越严重。图2模拟了入射激光功率保持不变，激光照射时间一定时，光束焦半径不同对光学原件表面温升的影响。从图中可看出随着半径的变越小，光斑中心处的温升明显变大。这是因为当激光能量相同时，半径越小，功率密度就越大，材料单位面积吸收的能量就越大，因此引起的温升就越大。同时，光斑对材料的损伤阈值也有重要影响。文献[6]研究了材料相应中的光斑效应，研究表明，在均匀圆形光斑辐照靶材时，功率密度阈值随半径的增加几句减小，当半径较大时，功率密度阈值的变化趋于平缓。如图3所示。而功率阈值则与功率密度阈值相反，半径较小时几乎为一恒定值，如图4所示。 　　 　　（三）入射光束光强分布的影响 　　在用强激光对材料进行热处理等应用时，即使用相同功率的入射光束，因其强度又不同的空间分布，也能影响光束在材料中产生的温度场的分布，从而影响加工效果。数值模拟了超高斯光束垂直在30CrMnSiA钢材表面的温度场的分布情况。光束具有相同光斑直径和功率及辐照时间。结果显示，由于光强分布不同，对应温度场的分布也有较大差异。当用超高斯光束作用在钢板上时，阶次（Ns）较小时，光斑中心温度高，光斑区温度梯度大，此时材料易发生中心穿孔；阶次（Ns）较大时，光斑中心温度下降较多，光斑区温度分布比较均匀，但与周围温度差异大，材料易因膨胀热应力而发生破坏。 　　（四）激光脉宽对材料烧蚀阈值的影响 　　激光脉宽会直接影响材料的烧蚀阈值，脉宽越窄，越容易达到烧蚀阈值，达到烧蚀阈值所需的单脉冲能量越小。当激光脉宽大于10ps时，烧蚀阈值与脉宽的关系遵循 的规律，当激光脉宽小于10ps时，烧蚀阈值同脉宽的关系不在遵循上述规则。