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视觉检测技术在集成电路基板检测中应用 　　摘 要：在集成电路基板检测中应用视觉检测技术，快速构建集成电路基板视觉检测应用方案。通过对光源、相机、电机等的选型，构造快速、高精度的图像采集控制系统，并采用NI公司LabVIEW软件中的视觉模块，设计能实现图像特征识别、提取和检测IC基板缺陷的模型与算法。由于视觉传感器的检测系统具有抗干扰能力强、效率高、组成简单等优点，因此非常适合生产现场的在线、非接触检测和监控。 　　关键词：视觉检测技术；集成电路；IC基板；数字图像处理 　　中图分类号：TP274+.5 文献标识码：A DOI：10.15913/j.cnki.kjycx.2015.22.009 　　随着计算机软、硬件技术和精密制造技术的发展，计算机视觉检测和在线图像检测技术得到了长足的发展，机器视觉的研究和应用已成为制造业发展的重要课题。我国当前的集成电路产业在后道工序的分检、自动识别、表面贴装（SMT）等环节使用的具有光学视像检测功能的半导体芯片检测仪器设备的开发相对滞后。目前，多数生产线仍采用人工的方式筛选、检测不合格的产品。如果用视觉识别系统取代人工进行在线检测，不仅可以降低工人的劳动强度，还能减少次品，提高生产效率。但机器视觉系统也有它的局限性，因此，对于不同的检测对象，要采取不同的检测方案。 　　1 视觉检测系统概述 　　机器视觉技术作为计算机科学的一个重要分支，在近30年里发展迅猛。由于机器视觉系统可以快速获取、处理大量信息，并易于与设计信息和加工控制信息集成，所以机器视觉系统在现代自动化生产过程中被广泛用于工况监视、成品检验和质量控制中。本系统的创新突破点是用高精度的伺服马达驱动微米级滚珠丝杆，用光电成像技术和视觉系统快速扫描拍照IC基板；设计专用数字图像处理算法，并基于小波变换的偏斜纠正算法、亚像素技术等分割芯片图像，对比筛选和鉴别IC基板的缺陷，实现超细微粒的等级分类，获得高测试速度、高缺陷捕捉率的IC基板质量检测技术。开发重点在于系统的软硬件需求、硬件系统的构建与部件的选型、基于Labview各模块的二次开发和软件操作系统合成以及工作流程。精要在于合理、有效地整合系统。从硬件角度来说，最终在于高速、精准地获取较理想的图像；从软件角度来说，在于如何开发并整合各硬件，并实现图像的处理，最终得到检测结果。 　　设备采用虚拟仪器技术具有以下4方面优点：①快速实现系统的整合。②图形化，易于编程，方便用户的理解和操作。③可编程，扩展性好，能快速建立新程式，程式间切换一键完成。④统计建模。在硬件设计方面，包括超精密X-Y检测平台、数控定位机构、分拣动作机构、精密光学图像检测仪、光源等。主要技术难点是实现高精度定位，高速采集和控制图像。 　　运动控制。IC基板检测设备必须要有精确、高速的机械运动控制能力――从上料、定位、驱动相机采集图像到卸料，包括数据分析统计等要全部实现自动化；运动速度快、灵敏，每秒钟能检测10～20个IC基板。运动控制卡采用步进机电有限公司生产的MPC2810SP运动控制卡。该卡基于PCI总线的步进电机或数字式伺服机的上位控制单元，通过交流伺服驱动器完成步进电机运动控制的所有细节（包括脉冲和方向的输出、自动升降带的处理、原点和限位信号的检测等）。MPC2810提供批处理运动模式，用户可不等上一条运动指令结束就发后续运动指令，系统自动按照指令的先后顺序将所有指令发完。如果启动了速度前瞻功能，控制器就能根据轨迹拐点的允许加速度、速度自动规划速度，使系统平稳运动。 　　―――――――――――――――――――――――――――― 　　在基于视觉检测技术的IC基板检测系统设计中，图像的采集和处理是整个系统成功的关键。为确保能采集到高质量的图像信息，我们自行设计并制造了该系统专用的检测光源。图像亮度是检测系统中一个尤为重要的参数，光源与照明方案的设计应尽可能地突出被检测工件的特征。在增加特征量对比度的同时，还应保证被检测区域有足够的整体亮度。光源的设计必须满足亮度大、亮度可调、均匀性好、稳定性高等要求，以抑制外界环境中各种光线对图像质量产生的不良影响，导致检测系统故障或误判。在综合考虑系统检测对象的特点和检测中存在的主要问题后，我们为该系统设计了专用的检测光源OAT-RI5000环形光。该光源使用蓝色的LED发光管，并采用独特的排列方式，既能满足图像采集的需要，又有利于光源的散热，保证能够长时间稳定工作。 　　整机装配及调试。由于全自动IC检测机是精密检测设备，因此在其加工和装配过程中必须十分小心。对于装配和定位精度等指标的测试，也需作大量研究。测控系统结构如图1所示。 　　图1 测控系统结构图 　　机器视觉系统主要由三部分组成，分别是图像的获取、图像的处理和输出显示。 　　图像获取设备包