多晶硅表面缺陷识别及软件检测系统设计与开发-工业工程专业论文.docxVIP

上海交通大学硕士学位论文答辩决议书  |||--|····l||| | | |- -|···· l | | | ·|·EE-· | 姓名 王晗 学号 1110209364 所在学科 工业工程 日期指导教师 苗瑞 答辩 2014一2-21 答辩地点 机动楼F203 日期 论文题目 多晶硅表面缺陷识别及检 测系统设计与开发 投票表决结果 :)/?/ fC同意票数/实到委员数/应到委员数) 答辩结论:乒E 过 口未通过 评语和决议: 一 -  一 一 答辩决议书 论文研究了太阳能多晶硅薄膜电池表面颜色缺陷识别及检测 问题， 基于机器 视觉与 SVM (支持向量机)，提出了表面颜色缺陷的图像分析与特征提取方法， 设计了缺陷检测与分类方法进行缺陷识别 ，所设计的自动化检测软件系统高效准 确，具有一定的理论参考价值。 论文结构严谨，层次清晰，分析正确。答辩表述清楚，回答 问题正确。表明 该生掌握了本学科的基础理论和相关的专门知识，具备了 从事科研工作的能力。 经答辩委员会无记名投票表决，一致同意通过王晗的硕士学位论文答辩，建 议授予其专业硕士学位。 z..v l 年F 年 L 月对日 职务 姓名 职称 单位 签名 主席 江志斌 教授 上海交通大学 与/吱在》 辩结仨骂乙 委员 蒋祖华 教授 上海交通大学 》Z牛气 辩 委 ，1 吃非馄i员 ，1 吃非馄 委员 潘尔顺 研究员 上海交通大学 ;也轩1吃 成 委员 张青雷 正高级师 工程 上海电气中央研究院 J仨7:! 委员 周晓军 副教授 上海交通大学 !马ρ啄 秘书 刘冉 助理研究员 上海交通大学 材如L 万方数据 上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 摘 摘 要 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 多晶硅表面缺陷识别及软件检测系统设计与开发 摘 要 作为清洁无污染的优质能源，太阳能在化石燃料日渐减少、带来 的环境问题凸显的情况下，已经成为新能源的重要组成部分。太阳能 发电技术，是利用太阳能的重要形式，多晶硅太阳能电池以工艺相对 简单，生产成本低的优势，被广泛采用于光伏制造业中。 质量管理是企业生产的重要环节。为保证品质与降低成本，需要 对镀减反射膜 PECVD 工艺下料进行检测。多晶硅太阳能、电池表面 纹理特征复杂，质量检测一直依赖人工，效率低、重复检出能力差。 本文从工业工程专业的质量管理角度出发，研究了多晶硅表面质 量管理的信息化技术，基于机器视觉和 SVM，设计开发了的太阳能多 晶硅表面缺陷识别及软件检测系统，具有自动化、分类准确等优点， 具有理论及使用价值。 本文主要工作有在以下几个方面： （1）根据某太阳能多晶硅电池生产企业的实际问题，研究了常见 的太阳能多晶硅片表面缺陷，对缺陷进行了归类，与成因分析。结合 I 企业实际需求，通过利用机器视觉和模支持向量机，结合图形图像分 析与特征提取方法，提出了自动化检测系统总体设计方案，提出了检 测系统软件的框架、检测流程及工作原理，实现了多晶硅片质量管理 与检测的自动化、信息化。 （2）针对多晶硅片检测的难点，提出利用边缘拟合进行硅片区域 精确定位，克服随机上料的问题，硅片的精确定位，保证了后续检测 数据来源的可靠性，提高了分类正确率；通过色彩空间变换，降低了 颜色检验的维数；在对斑点检测中，选取与硅片自身纹理无关的饱和 度通道进行检测，克服多晶硅片自身纹理干扰的难点。 （3）针对每种常见缺陷，介绍了特征提取方法，设计了 SVM（支 持向量机）分类器进行分类，并对分类器进行参数优化，提高了分类 结果准确率。为加快程序运行效率，设计了分类器调度器，结合缺陷 出现频率与分类器运行速度，进行动态分类器调度，加快了检测效率。 结果显示，系统分类正确率达到 94.5%，节拍小于 1s，满足了企 业的生产需求。利用机器视觉进行表面颜色检测的方法，具有抗干扰 能力和广泛的适用范围，是质量管理的重要工具。 关键词：机器视觉、支持向量机、太阳能多晶硅片、表面缺陷、自动 化颜色识别 II POLYSILICON SOLAR WAFER SURFACE DEFECT DETECTION AND THE DESIGN AND DEVELOPMENT OF SOFTWARE INSPECTION SYSTEM ABSTRACT Solar energy is a clean and pollution-free high-quality energy, compared to fossil fuels which causes the environmental problems, it has become an important part of the new energy. Solar power te