锆钛酸钡钙薄膜的制备与压电性能研究-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index：TM215 Dissertation for the Master Degree in Engineering Preparation and piezoelectric properties of Zirconate Titanate Barium Calcium Film Candidate： Zhang Tianyuan Supervisor： Chen Yang Academic Degree Applied for： Master of Engineering Specialty： Electronics and Communications Engineering Date of Oral Examination： March，2016 University： Harbin University of Science and Technology 哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明 本人郑重声明：此处所提交的硕士学位论文《锆钛酸钡钙薄膜的制备与压 电性能研究》，是本人在导师指导下，在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间独立 进行研究工作所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分外不包含他人 已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。 作者签名： 日期： 年 月 日 哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书 《锆钛酸钡钙薄膜的制备与压电性能研究》系本人在哈尔滨理工大学攻读硕 士学位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归哈尔滨理 工大学所有，本论文的研究内容不得以其他单位的名义发表。本人完全了解哈 尔滨理工大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留并向有关部门提 交论文和电子版本，允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨理工大学可以采 用影印、缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的全部或部分内容。 本学位论文属于 保密 ，在 年解密后适用授权书。 不保密 √ 。 (请在以上相应方框内打√) 作者签名： 日期： 年 月 日 导师签名： 日期： 年 月 日 哈尔滨理工大学工程硕士学位论文 哈尔滨理工大学工程硕士学位论文 锆钛酸钡钙薄膜的制备与压电性能研究 摘 要 随着电子信息、集成电路和微机电系统（MEMS）等领域的迅猛发展， 压电薄膜材料和微型压电传感器的需求量也在日益增加。受环境和社会可持 续发展的制约，传统压电材料（含铅）遭到限制，性能优异的无铅压电薄膜 和 相 关 传 感 器 有 着 广 泛 的 应 用 前 景 。 自 从 xBa0.7Ca0.3TiO3-BaZr0.2Ti0.8O3 （xBCT-BZT）无铅压电材料被发现在准同型相界（MPB）附近具有良好的 压电性能，压电系数 d33 可达 620pC/N，可以媲美铅基压电材料，这引起了 相关科研人员的广泛关注。 0.5BCT-BZT 薄膜材料具有如下优点，能量容易收集、较低的驱动电压 和更好的应用于集成电路的潜力。然而不同于 0.5BCT-BZT 压电陶瓷材料， 0.5BCT-BZT 薄膜材料的压电性能并不十分良好。其主要原因为该体系薄膜 的晶化温度较高、晶化程度低，导致薄膜无织构、质量差。而较高的晶化温 度也大大降低了其应用于电子信息、MEMS 等领域的潜力。 本文选用溶胶-凝胶法制备 0.5BCT-BZT 薄膜，通过引入 LaNiO3(LNO) 种子层优化界面。经 XRD、AFM 以及 SEM 等检测对比分析，发现相对于 BZT-BCT 薄膜，BZT-BCT/LNO 薄膜低温下即可晶化彻底，并且表现出明显 的（100）织构；通过分别对两种薄膜进行电性能测试并综合对比分析，发现 引入种子层优化后的薄膜的质量有明显改善，其压电、铁电及介电性能也均 有大幅度提高。 研究发现，对于 0.5BCT-BZT 薄膜来说，需要在 700°C 高温下才能转化 为完全钙钛矿结构，同时伴随着织构差、漏电流大、电性能弱等缺陷。为解 决上述一系列问题，我们在薄膜界面处引入了 LaNiO3(LNO)种子层。研究发 现，在 0.5BCT-BZT/LNO 晶化过程中，LNO 种子层可以为 0.5BCT-BZT 薄膜 提供形核质点，使 0.5BCT-BZT 薄膜晶化温度大幅降低（550°C），且明显的 提升其压电性能。 关键词 压电传感器；准同型相界；种子层；（100）织构 - I - Preparation and piezoelectric properties of Zirconate Titanate Barium Calcium Film Abstract With the rapid development of elec