薄膜封装结构.pdf

哈尔滨工业大学哈尔滨工业大学 （威海（威海）） 哈尔滨工业大学哈尔滨工业大学 （（威海威海）） 材料科学与工程学院材料科学与工程学院 材料科学与工程学院材料科学与工程学院 电子器件与组件结构设计 王华涛 办公室办公室：：A 楼楼208 办公室办公室：： 楼楼 Tel ：：5297952 ：： Email：：wanghuatao@hit.edu.cn ：： 1 第九章第九章 薄膜封装结构薄膜封装结构 第九章第九章 薄膜封装结构薄膜封装结构 薄膜封装概念薄膜封装概念；； 薄膜封装概念薄膜封装概念；； 薄膜材料薄膜材料 薄膜材料薄膜材料 膜集成电路制造工艺膜集成电路制造工艺 膜集成电路制造工艺膜集成电路制造工艺 2 薄膜封装的概念薄膜封装的概念 薄膜封装的概念薄膜封装的概念 薄膜定义薄膜定义 薄膜定义薄膜定义 利用特殊的技术手段利用特殊的技术手段, , 人为制得的人为制得的、其一维尺度显著小于另外两、其一维尺度显著小于另外两 利用特殊的技术手段利用特殊的技术手段, , 人为制得的人为制得的、、其一维尺度显著小于另外两其一维尺度显著小于另外两 维尺度的维尺度的、具有特定性能与用途的材料、具有特定性能与用途的材料 维尺度的维尺度的、、具有特定性能与用途的材料具有特定性能与用途的材料 按厚度可以分为厚膜与薄膜按厚度可以分为厚膜与薄膜 按厚度可以分为厚膜与薄膜按厚度可以分为厚膜与薄膜 厚膜厚膜：几微米至几百微米：几微米至几百微米 厚膜厚膜：：几微米至几百微米几微米至几百微米 薄膜薄膜：几微米以下：几微米以下 薄膜薄膜：：几微米以下几微米以下 薄膜封装的功能薄膜封装的功能：： 薄膜封装的功能薄膜封装的功能：： 电气连接电气连接 电气连接电气连接 元件搭载元件搭载 元件搭载元件搭载 表面改性表面改性 表面改性表面改性 特殊功能特殊功能 特殊功能特殊功能 3 薄膜材料的应用薄膜材料的应用 薄膜材料的应用薄膜材料的应用 耐磨耐磨、防腐与装饰涂层、防腐与装饰涂层 耐磨耐磨、、防腐与装饰涂层防腐与装饰涂层 光学涂层光学涂层 光学涂层光学涂层 光电薄膜光电薄膜 光电薄膜光电薄膜 微电子技术微电子技术 微电子技术微电子技术 磁存储技术磁存储技术 磁存储技术磁存储技术 微机电系统微机电系统 ………… 微机电系统微机电系统 ………… 4 耐磨耐磨、防腐与装饰涂层、防腐与装饰涂层 耐磨耐磨、、防腐与装饰涂层防腐与装饰涂层 5 光学涂层材料光学涂层材料 光学涂层材料光学涂层材料 6 微机电系统中的薄膜材料微机电系统中的薄膜材料: 微型反射镜组: 微型反射镜组 微机电系统中的薄膜材料微机电系统中的薄膜材料: : 微型