高限制等离子体表面波槽形结构-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ ８ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．８ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ ８ Ａｕｕｓｔ２００９ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｇ 高限制等离子体表面波槽形结构 陈献，郝寅雷，王明华，杨建义，江晓清 （浙江大学 信息与电子工程学系，杭州 ３１００２７） 摘 要：基于等离子体表面波的物理机理，提出一种具有高限制因子的二维亚波长槽形结构 该结 ． 　 构能在二维上都限制在亚波长尺寸，其能量主要限制在芯区中，当芯区横截面尺寸为２００ｎｍ× ８００ｎｍ，能量限制因子高达 ９８．５％，横向模式尺寸近似于芯区宽度；当金属墙厚度大于截止厚度， 横向模式尺寸能够达到深亚波长尺寸 该结构的基模分量 限制在芯区中，而分量 只在矩形 ． 犈狓 犈狔 介质芯区四个与金属接触的直角处被激励，并且关于 轴、 轴具有反对称性 狓 狔 ． 关键词：集成光学；等离子体表面波；限制因子；高限制 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２５２ Ａ １００４４２１３２００９０８１９８６５ 　　　　 　　　　 ０ 引言 　 自从 年， 报道了嵌入式有限 ２０００ ＰｉｒｒｅＢｅｒｉｎｉ ［］ １ 宽度金属薄膜传导等离子体表面波以来 ，人们看 到了突破传统介质波导衍射极限瓶颈的希望，把等 离子体表面波看作是未来集成光学小型化、高度集 成化的潜在载体，国内外也有大量利用该结构的器 件理论和实验报道 利用等离子体表面波对光束的 ． 强限制特性，将光束限制在纳米尺寸的研究为其研 究热点之一 如嵌入式有限宽度金属薄膜结构（见图 ． （））具有高度限制性的显著特点，但其限制性仅仅 １ａ 限于纵向（ 轴方向），金属厚度一般为 １０ ２５ｎｍ， 狔 ～ 但横向（ 轴方向）一般达到了 以上，并没有出 狓 ４ ｍ μ 色地利用等离子体表面波的高度限制性 另外该结 ． 构的劣势是其传导的长程等离子体表面波 ０ 强烈 ｓｓ ｂ 图 嵌入式有限宽度金属薄膜 １ 　 依赖于周围介质的对称性，要求折射率差匹配达到 Ｆｉ．１ Ｅｍｂｅｄｄｅｄｔｈｉｎｍｅｔａ