电池片生产各工序质量控制.pdf

电池片生产各工序质量控制 目录 1.一次清洗 2.扩散 3.周边刻蚀 6.1 印刷电极 5.PECVD 4.二次清洗 6.2 烧结 7.分选测试 8.检验入库 1.一次清洗 • 1. 自检要求 • 1.1外观检验 要求甩干后的硅片颜色均匀，和样品色差不大。表面没有水痕，没有明显的斑 点。 • 1.2硅片重量检查 一次清洗后硅片重量减轻≤25g • 2.不合格片处理 不符合1.标准的硅片视为不合格片。按照以下方式处理： 2.1硅片颜色不均匀，或者均匀但与样品差据较大，或者有较多斑点的，需要整批返 工制绒。 2.2硅片表面仅是有水痕的，整批重新清洗。（不需要制绒） • 3.异常处理 • 3.1设备异常 • 凡出现不符合工艺文件的要求的情况，立刻停止生产，报告设备工程师。 • 3.2工艺异常 • 连续两批出现颜色不均匀，或者均匀但与样品差据较大，或者有较多斑点的情况， 停止生产，报告工艺工程师。 1.一次清洗 4.外观缺陷 1.一次清洗 4.外观缺陷 一次清洗后水痕 1.一次清洗 4.外观缺陷 花篮印 水痕 2.扩散 1.自检要求 1.1外观要求： A.扩散前检查：确保硅片已彻底甩干，绒面良好没有色斑和雨点，没有 碎 片和隐裂片，硅片数目与流程卡一致。如存在此类问题，返还上一道工序进 行处理。 B.扩散后检查：确保硅片偏磷酸污染，裂纹，崩边，V型缺口。如出现此类问 题，由本工序组长决定是否返工。批量出现时立即联系技术部值班工程师， 值班工程师给予解决。 1.2方块电阻要求： 1.2.1不均匀度=（R max - R min）/( R max + R min）×100%,且同一炉硅 □ □ □ □ 片方块电阻不均匀度≤10%， 同一硅片方块电阻不均匀度≤5%。如有异常，则联系值班工程师进行处理。 1.2.2根据硅片来料电阻率控制方块电阻值的范围,具体如下表： 2.扩散 工艺参数号 R□控制范围 电阻率范围 ρ0.5 1# 44-50/ □ 0.5 ρ1 2# 40-45/ □ 1 ρ3 3# 38-42/ □ 3 ρ6 5# 34-38/ □ ρ6 9# 30-33/ □ 3少子寿命要求： 3.1扩散前抽测：每盒抽测一片，确保少子寿命大于2us，否则返还上道工序 进行酸洗。 3.2扩散后抽测：每批次抽测五片，确保少子寿命大于4 us，否则报告值班工 程师进行处理。 3.刻蚀 1. 自检 1.1导电类型检测：将夹具左右两