基于DSP的数字球径仪系统研制-光学工程专业论文.docxVIP

声明本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本 声明 本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本 学位论文中，除了加以标注和致谢的部分外，不包含其他人已经发表或 公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使 用过的材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文 中作了明确的说明。 研究生签名：缮吐窟乏7 矿舞步旯笳 学位论文使用授权声明 南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或 上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以向有关部门或机构送交并 授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对于保密 论文，按保密的有关规定和程序处理。 研究生签名：缮￡2 1匿 钟多月编 硕十论文 硕十论文 摹于DSP的投宁球径仪系统研制 绪论 1．课题的研究背景 在光学生产的加工制造过程中，大量存在着需要对具有球面形状的透镜(如显 微镜镜片、望远镜镜片、眼镜镜片等)的曲率半径进行测量的情况“1。可能遇到的透 镜球面曲率半径的数值几乎是任意的，可以大到平面，可以小到几毫米。球面可以 是凸的，也可以是凹的。现在还没有一种测量曲率半径的方法能在这样广的范围内 保证测量的精度郡符合要求。一般都是根据被测球面曲率半径的大小选用适当的测 量方法嘲。 为了测量曲率球径，可以使用非接触式的测量方法，如激光干涉。“町或自准直， 而考虑更为经济的解决方案，或是为了测试未经抛光的球体时，接触式的测量方法 更为可行鲫。通常，对透镜制造用的模具所采用的测量工具是金属半径样板或简易 型球径测微器。光学半径样板则用于透镜的测量。在实际生产中普遍使用的金属半 径样板，由于其本身构造的原因，与球面模具接触如发现缝隙时，只能凭经验估计 偏差值，因而人为测量误差大嘲。简易型球径测微器亦常用于测量球面模具，但精 度较低，且不能直接读出曲率半径。常用于测量球面透镜的光学半径样板，则需依 赖于在环形球径仪上测定后方可使用。环形球径仪由于其本身测环半径较小”1，但 其一般测量范围较大，故当其侧杆位移产生微小误差时所引起的曲率半径误差更 大，并需测出球面矢高值后代入理论球径公式经换算求出曲率半径，此外与简易型 球径测微器一样，因其工作原理所致而不具有直接示出曲率半径值的读数功能，使 用上很不方便．为此，本文拟研制一种数字直显式球径仪 。 目前国内的数字化球径仪大多基于单片机技术嘲，只是对传统球径仪的简单改 进，无论是在自动化程度，还是测量的精度上都有很大的局限性，很难满足光学加 工生产过程中快速检测的需求o”。国外比较成熟和先进的数字化球径仪是德国 Moller-Wedel Optical GmbH公司生产的接触式球径仪Spheromatic H，其显示精度 可以达到0．1啪，球径的测量范围达到+3．2 m[13至无限和．6 flirt3至无限，重复性精 度达0．001％，带有8个三点支撑的校准环，球环直径8，15，25，35，50，65，80， 120mm，并且为球径仪开发了配套的软件包，可以对测量数据进行各种数学处理。 可以预见，智能化、小型化、高精度、宽范围将是球径仪的发展趋势“”。 2．本论文的主要研究工作 1953年，英国Ferranti公司的爱丁堡实验室建立了第一个利用莫尔条纹(Moir$ Fringe)系统测量位移的工作样机，并取得了专利“”。从此，陆续出现了许多种利用 莫尔条纹来实现精密测量位移的方法 ““1，其中主要以各种光栅精密位移测量系统 为主o”“”“”。基于此，才有了把光栅位移测量运用到球径仪中的想法，论文主要对 硕士论文 硕士论文 摹于DSP的数字球径仪系统研制 数字球径仪系统进行整体软硬件构建，同时对光栅信号进行处理，解决下面几个问 题： (1)系统构建，对数字球径仪进行系统级设计，对系统各部分提出关键的理论 参数，实现测量套环、光栅探杆、处理电路及显示的衔接。 (2)硬件电路设计，主要实现测量光栅信号处理及结果输出。实际输出的光栅 莫尔信号包有各种干扰信号，包括直流电平漂移、莫尔信号的高频成分、光电转换 元件性能的波动和随机干扰信号，因此要设计一个带通滤波器滤除低频的直流电平 漂移和高频噪声，同时极大的降低白噪声，提高莫尔信号的质量”81【191。两路正交的 条纹信号经过零触发器整形变为矩形波，以正弦波整形信号的上跳沿作为计数触发 信号，可逆计数器根据该上跳沿所对应的余弦波整形信号的电平来决定移动方向， 实现准确无误的大数计数。A／D转换电路保证了高倍数的条纹细分，显示部分则实 现了系统的实时结果输出。 (3)系统软件编制，具体实现莫尔条纹的高倍数细分。采用软硬件相结