原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
鍍金機收費辦法：
一、自行操作：
(1) SEM/ EDS ：使用費每小時250 元 ，以小時為單位計費。
鍍金機：使用費每分鐘300 元，以分鐘為單位計費 ，
不足 1 分鐘仍以1 分鐘計費，白金鈀材由本系提供。
；通常每次都鍍 1min~1.5min ；約5~10nm 表面鍍膜厚度
(2)每年統計各老師累計之使用費，並自本系分配各 教師之業務費
或設備費（原則上業務費不足額時 則逕扣教師類推之經費順，
序【設備費、管理費、技術服務費】等）扣款。
二、委託操作：
(1) SEM/ EDS ：
使用費每小時500 元，至少3 小時起計，並以小時為單位計費。
鍍金機：使用費每分鐘500 元，以分鐘為單位計費 ，
不足 1 分鐘仍以1 分鐘計費，白金鈀材由本系提供。
(2)自本校單位 業務費扣款。
(3)校內其他單位一律委託操作，系內需經認証考核後得可自行操
作 ；特殊試片須經機台保管人之同意，避免污染腔體，系內認
證資格需為本 系學生。
Sputter Coater 108 auto
鍍金機操作手冊
一、
4. 5. 6. 7.
3.
2.
1.
14. 13. 12. 11. 10. 9. 8.
（圖示一）
1. 總電源 8. 手動暫停與時間選擇按鍵
2. 玻璃罩 9. 手動啟動按鍵
3.試片座 10. 洩氣按鍵
4. ma/mb 選擇按鍵 11. 充溢按鍵
5.自動程式按鍵 12.自動與手動選擇按鍵
6. 終止按鍵（暫停 ） 13.電流選擇按鍵
7.調整按鍵 14.電流指示錶
二、
6. 7.
1. 2.
5.
3. 4.
（圖示二）
1. 主電源
2. PUMP 電源 5. Ar.N2氣體流量控制閥
3. 保險開關 6. Ar.氣閥
4. 真空幫浦接口處 7. N2.氣閥
三、
手動：自己控制抽氣壓力、洩氣壓力、進氣量、以及擊
發時的真空壓力大小。
自動：按下自動選擇鍵，機台會自動依照設定做完上述
動作，並可一直重複使用同一動作。
以下為操作機台之步驟：
1. 將試片放在試片座上。
2. 蓋上玻璃罩。
3.開啟真空幫浦抽真空。
4. 押住圖示一（13 ）電流選擇按鍵及（7 ）調整按鍵，
選擇所需的擊發電流大小（分別為 10 、20 、30 、40 四
種電流之選擇）。
5. 押住圖示一（8 ）時間按鍵及（7 ）調整按鍵，調整選
文档评论（0）