新式磁致动式微混合器之研究ANovelMicroMixerUsingMagnetic.PDF

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2019-04-06 发布于天津
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新式磁致動式微混合器之研究 A Novel Micro Mixer Using Magnetic Activation 賴則全李國賓國立成功大學工程科學系 MML NCKU MEMS design and Micro-fabrication Lab 設計原理 A B MML NCKU 電磁鐵電磁鐵 MEMS design and Micro-fabrication Lab (1) 製 (4) 程 UV 放入磁粉 mask SU-8光阻 PDMS substrate (2) (5) PDMS ＋ SU-8光阻 substrate PDMS (3) (6) PDMS SU-8光阻 PDMS substrate MML NCKU MEMS design and Micro-fabrication Lab 晶片 SU-8母模 PDMS chip MML NCKU MEMS design and Micro-fabrication Lab 量測位置量測ABC三點的灰階強度來做定量分析 A B C MML NCKU MEMS design and Micro-fabrication Lab 量測結果－A點 150 量測點A 100 灰階強度 50 prior to mix