空气静压气浮平台特性的研究-测试计量技术及仪器专业毕业论文.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所 知，除了文中特别加以标志和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果， 也不包含为获得金胆工些太堂．或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作 的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签字：撇 签字日期：y，1年沙月_)6日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金胆王些太堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向 国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权金月巴王些厶堂 可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等 复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文者签名：硗娘 导师签名： 签字日期：矽，J年沙月艿日 签字日期：如f1年串月诊日 学位论文作者毕业后去向： 工作单位： 电话： 通讯地址： 邮编： 空气静压气浮平台特性的研究摘 空气静压气浮平台特性的研究 摘 要 现今TFT-LCD产业发展的速度越来越快，其所使用的玻璃基板尺寸、重量 也都在不断增大。在这种情况下，传统的接触式运输方式中存在的接触性损伤、 基材变形等问题变得更加突出，直接影响到产品生产良率，在一定程度上限制 了大尺寸LCD产业的发展。 空气静压气浮平台作为一种新型运输设备，采用气体作为润滑介质，通过 在平台表面与玻璃基板之间形成一层气体薄膜来实现支承和润滑的功能，完成 非接触式的运输，已经被越来越多的运用于液晶面板的生产之中。 本文根据研究的实际需要，建立了静压气浮平台的流体模型，在气体润滑 理论基础上对平台的静态特性参数进行计算，合理的划分了计算网格，并运用 CFD技术对所建模型进行仿真分析，详细探讨了气膜内气流轨迹、压强、流速、 质量流量及静承载力的分布和特点，为空气静压气浮平台的进一步研究和设计 提供了依据。 关键词：空气静压气浮平台：气体润滑：CFD：仿真分析：静态特性参数 Ⅱ Study Study on The Characteristics Of Air--bearing Platform ABSTRACT Nowadays the TFT-LCD industry develops faster and faster,and the size and weight of the glass substrates utilized in this industry are in continuous increase． Under this circumstance，the problems of contact damage and base material deformation existing in the traditional contact transportation type become more prominent，which directly affects the production effectiveness and limits the development of large size LCD industries． The air—bearing platform，as a new transportation equipment，utilize gas as lubricant medium，and realize the function supporting and lubrication by producing a thin gas film between platform surface and glass substrates in order to complete non-contact transportation．It has been widely used in the production of LCD panel． In this paper,according to the actual research needs，the fluid model of air-bearing platform is established，the static characteristic parameters of the platform is calculated based on gas lubrication theory,and the calculation mesh is divided reasona