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- 2019-05-11 发布于上海
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摘
摘 要
万方数据
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摘 要
半导体器件广泛应用于航空航天、交通运输、电力等重点领域,而我国半导体 的材料、制造工艺、生产技术等与美国等发达国家相比,仍有比较大的差距。为加 快国内半导体器件工艺等技术的发展,需要研制脉冲电压测量装置,用来测试半导 体器件的动态参数。本系统采用了 LXI 总线技术,因此能够快速地组建分布式测试 系统。目前,国际上脉冲电压测量单元并不同时具备高速和高分辨率的功能特征, 针对此现状,需要研制高速高精度的脉冲电压测量单元。
本论文根据系统指标要求,讨论了脉冲电压测量单元的主要组成部分及其实现 方式,通过分析和比较提出了脉冲电压测量单元的系统设计方案。本设计主要完成 了模拟前端电路设计、信号采集存储与控制电路设计、LXI 总线接口电路设计三大 部分的工作。模拟前端电路主要是对模拟输入信号进行调理,使其能够在模数转换 器输入信号的范围之内。该电路主要包括无源衰减网络电路、阻抗变换电路、后级 放大电路、ADC 驱动电路等。信号采集存储与控制电路采用采样率为 160MSa/s 的 ADS4126 作为模数转换器,采用 FPGA 对采样数据进行接收与缓存,设计并完成了 脉冲电压信号的实时检测电路。LXI 接口电路采用 ARM 芯片 S3C2440 作为网络接 口电路的主控器,并在 ARM 中移植 Linux 操作系统。MAC 层采用 DM9000,而物 理层采用芯片 DP83640。
系统的硬件电路设计完成后,对各组成部分电路及整机进行了测试验证。测试 结果表明:该设备的各项功能和指标都能达到本课题的设计要求。
关键词:脉冲电压;LXI 总线;信号采集;FPGA
I
Abstract
Abstract
Semiconductor devices are widely used in key areas of aerospace, transportation, electric power, Compared with the United States and other developed countries, there is still a relatively large gap of semiconductor materials, manufacturing processes, production technology. In order to accelerate the development of the domestic semiconductor device technology, the device of pulse voltage measuring that is applied to test the dynamic parameters of semiconductor devices is needed to develop. The system uses the LXI bus, so it can set up a distributed test system quickly. Currently, the international pulse voltage measuring unit does not also have functional features high speed and high resolution, for this situation, the need to develop high-speed precision pulse voltage measuring unit.
According to the index requirements of system, this paper discusses the major components and its implementation of the pulse voltage measurement unit, then presents system design scheme of the pulse voltage measurement unit through analysis and comparison. This paper completes three parts of the circuit design, they mainly include analog channel circuit, data acquisition circuit and LXI bus interface circuit. The analog channel circuit mainly recuperates the analog input s
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