材料研究法方法十二电子显微镜的基本原理.pptVIP

（3）色差 色差是由于成像电子的能量或波长不同而引起的一种像差。能量大的电子在距透镜中心比较远的地点聚焦，而能量较低的电子在距透镜中心比较近的地点聚焦。结果使得由同一物点散射的具有不同能量的电子经透镜后不再会聚于一点，而是在像面上形成一漫射圆斑。 由于上述像差的存在， 虽然电子波长只有光波长的十万分之一左右，但尚不能使电磁透镜的分辨率提高十万倍。 目前还不能制造出无像差的大孔径角的电磁透镜，而只能采用很小的孔径角尽可能减小球差等缺陷的影响。电磁透镜的分辨本领只比光学透镜提高一千倍左右。 6 电磁透镜的景深和焦长 （1） 景深 透镜的景深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离Df。换言之，在景深范围内，样品位置的变化并不影响物像的清晰度。 造成景深现象的原因是像差和衍射综合影响的结果。景深大小Df与物镜的分辨本领Δγ0成正比，而与孔径半角α成反比，即： Df＝ 2 Δγ0/α 2Δγ0 ：为电磁透镜的分辨本领， α：为孔径半角。 因此，电磁透镜的孔径半角越小，景深越大。 一般电磁透镜的α＝10－2－10－3 rad，因此 Df＝(200?2000)Δγ0 若Δγ0＝10?， 则 Df＝2000——20000? 即电子显微镜对于高度相差在2000?的物体，可以同时聚焦在成像平面上。 （2）焦长 当透镜焦距和物距一定时，像平面沿轴向一定距离内移动，也会引起失焦。但如果所引起的失焦尺寸不大于其他原因所引起的散焦斑大小，则对透镜的分辨率没有影响。 DL＝2 Δγ0M2/α 一般的电镜焦长都超过10-20cm。 因此，只要图象在显示屏上是清晰的，那么在屏的上下10cm范围放置胶片，得到的图象依然是清晰的。 7 电子显微镜的构成 （1）扫描电子显微镜 （2）电子探针 （3）透射电子显微镜 电子显微镜 光学显微镜 光源 电子束 波长 0.037? 可见光 4000－7500? 媒介 真空 10－4－10－8Pa (环扫也可以大气) 大气 透镜 电子透镜 光学透镜 分辨率 透射电镜 1.4? 扫描电镜 60? 可见光区 2000? 紫外光区 1000? 放大倍数 10倍－1(3)百万,连续可调 10－2000 换镜头 景深 1000倍时30um 1000倍时0.1um 聚焦原理 电子聚焦 机械聚焦 图象特点 黑白灰度 彩色或黑白 主要图象 透射电子像(TEM) 二次电子像 背散射电子像 X射线扫描像 光学透射像 光学反射像 光学干涉像 主要附件 电子衍射装置(TEM) 特征X射线波谱仪 特征X射线能谱仪 俄歇电子谱仪(AES) 偏光、反光、锥光 8. 与光学显微镜的比较 扫描电镜图像 光学显微镜图像 扫描电镜和光学显微镜的图像比较 作业 1. 试论述电磁透镜对电子束的聚焦原理。 第二章 电子显微镜 (一）电子显微镜的基本原理 光学显微镜的成像原理 显微镜的分辨率 电子波的波长 电磁透镜 电磁透镜的缺陷 电子显微镜包括以下三种类型的仪器： 扫描电子显微镜：Scanning Electron Microscopy （SEM） 用于微形貌观察、显微成分分析 透射电子显微镜： Transparent Electron Microscopy（TEM） 用于微结构分析、微形貌观察 电子探针： Electron Probe Microscopic analyzer（EPMA） 微区成分分析、显微形貌观察 加速电压 放大倍数 长度标尺 从图片可以看出，就是物体的局部放大外观图。 1. 光学显微镜(microscope)的成像原理 孔径半角α 2 显微镜的分辨率 假如物体上两个相隔一定距离的点，利用显微镜把他们区分开来，这个距离的最小极限，即可以分辨的两个点的最短距离，称为显微镜的分辨率，或称分辨本领。 肉眼的分辨率，中等亮度，中等对比度0.2mm。 ?r0：两物点的间距； λ：光线的波长； n：透镜周围介质的折射率； α：为孔径半角。 在最佳情况下，上式可简化为： 根据光学原理，两个发光点的分辨距离为： 这说明，显微镜的分辨率取决于可见光的波长。 而可见光的波长390 – 760nm，故而光学显微镜的分辨率不可能高于200nm。 3 电子波的波长 已知电子束具有波粒二象性，对于波动性而言，运动速度为v，质量为m的电子波的波长为： 设加速电压为U(加在电子枪上的电压)，则电子的能量为eU，或1/2 mv2，则： U的单位用伏特，?的单位为?。 代入参数后得：