谐振器晶片结构应力的失效分析及减少影响的措施.docVIP

PAGE PAGE 1 谐振器晶片结构应力的失效分析及减少影响的措施 　　摘要：石英晶体振荡器是由石英晶体谐振器和分立元件或混合微电路组成的器件，有极好的短期频率稳定度。文章通过一例石英晶体振荡器失效的案例，分析得出谐振器晶片的结构应力失效原因，再通过若干筛选试验，减少结构应力对石英晶片造成的影响。 　　关键词：石英晶体振荡器；石英晶体谐振器；结构应力；失效分析 　　中图分类号：TN709文献标识码：A文章编号：1009-2374（2013）15-0080-03 　　1概述 　　石英晶体谐振器，俗称晶体或晶体谐振器，基本结构是由石英晶片、电极、支架和外壳组成。石英晶体谐振器核心部分是晶片，电极附着在晶片两面，晶片与支架之间用导电胶粘连。由于其自身的品质因素很高，因此其频率的稳定性很高。由石英晶体谐振器控制频率的振荡器称为石英晶体振荡器，优点是体积小、重量轻、价格低、寿命长和可靠性高，有极好的短期频率稳定度。目前已极其广泛应用到火箭、卫星、导弹、飞机等航天航空领域，具体包括航天器系统、推进器系统、地面发射、控制系 　　统等。 　　本文通过一例石英晶体振荡器的失效分析案例，得出谐振器晶片的结构应力失效原因，通过进行若干试验减少结构应力对晶片造成的影响，进而从生产厂生产工艺和用户使用过程中提出建议，减少系统出现故障的可能性。 　　2石英晶体振荡器失效部分的定位 　　某单位的信息处理器上使用了某公司生产的石英晶体振荡器，在整机开始进行调试时发现晶振回路无时钟信号输出，经查该批次的1只晶振失效。该晶振装机后开机即发现失效。 　　2.1前期试验 　　取下石英晶体振荡器，对其做如下试验，见表1。 　　该晶振为14PIN“F-2”金属封装双列直插，该类型晶振第7PIN为GND端（外壳），第8PIN为OUT端，第14PIN为电源端，其余为悬空端。 　　用LeCroy6100A示波器等仪器对该晶振进行电性能测试，该晶振输出电平约为600mV、频率约为600kHz的正弦波（正常输出幅度为5V、频率为6.000000MHz±600Hz的方波），工作电流约为35mA（正常约为5mA）。 　　从测试情况判断，该晶振不起振，失效。 　　使用dixenASM1002氦质谱检漏仪对晶振进行精检漏，结论合格。 　　使用KYKYHF-4氟油检漏装置对晶振进行粗检漏，结论合格。 　　2.1.1开封镜检。不破坏该晶振原有结构，开封镜检，可见该晶振为采用厚膜工艺制造的混合集成电路（见图1）。 　　该晶振由一只石英晶体片J（通过3个金属支架固定，其中2个支架兼有电极功能）、2只瓷介电容器C1和C2（其中C2大部分在石英晶体片下面）、2只厚膜电阻R1和R2（其中R2在石英晶体片下面）、1块HCU04六反相器（不带缓冲器）芯片U组成。 　　取相同批次的1只晶振开封后，用CNA300晶体网络分析仪测试石英晶体片，测得频率为4.2MHz，由此表明石英晶体片J谐振频率为4.2MHz。 　　内部目检未发现存在明显异常。 　　2.1.2温度试验。将该晶振置于温度试验箱中，从常温升至高温，然后从高温自然冷却至常温，加电测试，用示波器检测波形，测试结果如下： 　　2.2故障定位 　　在前期试验后，进行故障定位工作。 　　加电测试，用示波器检测波形，同时用非导电体轻触该晶振内部元件的焊接点（或粘接点），该晶振未出现起振现象。 　　用裸镀银导线接触该晶振的石英晶体片J上端面被银电极，测试导线与该端电极支架间的电阻，呈现0Ω电阻；用裸镀银导线接触该晶振的石英晶体片J下端面被银电极，测试导线与该端电极支架间的电阻，呈现0Ω电阻。 　　由此表明，该晶片不起振不是由于内部元件焊接（粘接）不良造成的。 　　用信号发送器在该晶振的“G”点输入频率为约1MHz的信号，加电测试，用示波器检测波形，该晶振输出约1MHz、幅度约为2V的方波。 　　由此表明，该晶振放大输出回路能正常工作，不起振与晶体振荡和反馈回路有关。 　　用1只11.05920MHz的石英晶体谐振器搭接在该晶振的石英晶体片J的两个电极上，加电测试，该晶振输出频率约为11.05920MHz、幅度约为5V的方波。 　　用导线连接该晶振石英晶体片J的电极和CZ-150C晶体阻抗计，在常温条件下测试，石英晶体片J不起振；用电吹风对该晶振加热约25秒后，石英晶体片起振（频率约为4.2MHz），阻抗值为22.2Ω，停止加热不到5秒，阻抗值发生变化，从22.2Ω变化到37.8Ω后，阻抗值突变，晶体停振，无测试量值显示。用隔板将该晶振的石英晶体片J与HCU04六反相器（不带缓冲器）芯片U隔开，分别对石英晶体片J与HCU04六反相器（不带缓冲器）芯片U进行与前述相同的电吹风加热试验，结果为对石英晶体片J加热时晶体和晶振起振，对HCU04六反相器（不带缓冲