表面工程08高能束表面改性.pptVIP

* * * * * 5.4.4.1 离子注入系统 5.4.4 离子束表面改性技术 源（Source）： 一般采用气体源，如 BF3，BCl3，PH3，ASH3等。如用固体或液体做源材料，一般先加热，得到它们的蒸汽，再导入放电区。 离子源（Ion Source）： 灯丝（filament）发出的自由电子在电磁场作用下，获得足够的能量后撞击源分子或原子，使它们电离成离子，再经吸极吸出，由初聚焦系统聚成离子束，射向磁分析器 气体源：BF3，AsH3，PH3，Ar，GeH4，O2，N2，... 离子源：As，Ga，Ge，Sb，P，... 5.4.4 离子束表面改性技术 The ions are generated in an ion source which consists of an oven where the particles are vaporized, and the arc chamber, where the particles are ionized mainly by the bombardment of the atoms or molecules with electrons but also by atom/atom and atom/molecule collisions. Due to a well design