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第20卷 第3期 V ol. 20, No . 3
2000 年 8 月 RESEARCH PROGRESS OF SSE A ug , 2000
高文秀 陈松岩 刘宝林 黄美纯 陈小红 杨祖慎
( , 361005) ( , , 830046)
,
: SiH CVD , ( 1011
4
cm- 2 ) ( ) , ( P hoto -lum ine cence, P L)
, 1. 2 eV
,
P L PL PL
( 0. 9 eV) , PL ,
: ; ; ;
: O471. 5: A : 1000-3819( 2000) 03-0264-06
-
The Photoluminescence Properties of Self assembled
-
and Nano sized Silicon Quantum Dots
Gao WenxiuChen SongyanLiu BaolinHuang M eichunChen Xiaohong
( Dep artment of P hysics, X iamen University, 361005, CH N )
Yang Zu hen
( , , , 830046, )
Dep artment of Physics X inj iang University Urumuqi CH N
4
Abstract: U ing the low pre ure CVD metho d w ith SiH g a , w e have accum u-
- -
lated the ilico n quantum dot in elf a embled and nano ized o n a ilica gla ub-
trate. The optical ab orptio n and photolumine cene pectra hav e been ob er ved.
With decrea ing the ize of ilicon quantum dot , the limit of optical ab orptio n
hift to higher energy. The inten ity of photolumine cence pectrum i indepen-
,
dent of tem peratur e w hich mean that the photolumine cence i du
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