E84握手流程(中文版).doc

  1. 1、本文档共18页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
. .                                                                                                       E84 PI/O INTERFACE 概要解説書 中文版 配布先-COPY 計-SUM 承認-APP 調査-CHK 作成-DRAWN 神鋼電機株式会社 神鋼電機株式会社 SHINKO ELECTRIC CO.,LTD.JAPAN . 変更来歴 Rev 日付 内容 承認 作成 0 00.11.2 初版 藤原SSG 佐野 Translated by Don 2007/01/20 目 次 TOC \o "1-3" 1 背景?目的 4 2 E84とE23之不同點 4 3 限制 4 4 機器構成 4 5 用語說明 5 6 控制信號之種類 6 7 Interlock Timeout 8 8 通信程序 9 8.1 裝載移載 9 8.2 卸載移載 11 9 異常檢測 12 9.1 移載動作開始前之異常 12 9.2 移載動作中之異常 13 9.3 異常移載動作後之異常 14 9.4 GO信號?OFF變化 15 9.5 異常之復舊 15 10 注意事項 15 11 Connector及各信號之分配 16 12 電路圖?Sensor Unit尺寸 18   背景?目的 半導體製造工廠中,因隨著晶圓尺寸之擴大,載體重量增加及製造工程複雜化,有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統(AMHS)的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV(台車)藉由使用Photo I/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規格的通信控制。 SEMI規格中、雖定義E23作為上述Photo I/O通信規格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規格之概要。又,本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。   E84とE23之不同點 追加/變更於E84之項目如下。 連續Handoff Sequence 同時Handoff Sequence 追加HO_AVBL信號、ES信號 Timer之規定 改訂Connector pin之分配   限制 本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。 因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。 連續Handoff/同時Handoff Sequence 使用於連續Handoff之Timer   機器構成 圖4.1顯示本規格之E84 I/O Interface的適用例。 図4.1 E84 I/O介面例 ※I/O裝置E84中並無規定Device種類?安裝位置※I/O裝置Load Port載體E84 I/O介面半導體製造裝置(側面)AGV / RGVOHV主機AMHS控制裝置 ※I/O裝置 E84中並無規定Device種類? 安裝位置 ※I/O裝置 Load 載體 E84 I/O介面 半導體製造裝置 (側面) AGV / RGV OHV 主機 AMHS控制裝置  用語説明 表5.1顯示本書使用之用語。 表5.1 用語説明 用語 解説 Active裝置 具備移載機構之裝置。[遵循SEMI E23規格] (OHT系統中、OHV屬於Active裝置。) Passive裝置 藉由Active裝置來進行移載之裝置。[遵循SEMI E23規格] Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。 本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。 AMHS裝置 (= Automated Material Handling System) 具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。 RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Transportsなど。 Auto Access Mode AMHS裝置以自動方式進行Handoff之模式。 Manual AccessMode Operator以手動方式進行Handoff之模式。 載體 卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。 [遵循SEMI E1.

文档评论(0)

hkfgmny + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档