基于惯性粘滑的驱动信号分析及优化.docVIP

基于惯性粘滑的驱动信号分析及优化 摘要：在当今各项纳米技术中，惯性粘滑驱动技术既可以高精度定位，又可以大行程运动，具有体积小，重量轻，能耗低等优点。经各国研究，此技术现已广泛应用于微型机器人、微纳操作、光学显微、生物医疗、半导体等邻域，解决了许多现代科学和工业领域中存在的难题，具有广阔的发展前景。 惯性粘滑驱动平台由驱动信号激励压电陶瓷伸长，运动由每一步位移组成，单步运动精度达到纳米级，而单步运动时间极短，多步叠加使得连续运动行程达到毫米级。对驱动信号的研究是惯性粘滑驱动的基础技术，提高驱动平台的单步步长可以直接提高平台的运动性能。 本文主要研究驱动信号对惯性粘滑驱动的影响，建立了惯性粘滑驱动的运动学模型，通过改变输入信号得到仿真结果，最后利用现有的惯性粘滑驱动平台和设备进行实验，探究驱动信号对惯性粘滑驱动的实际影响规律，最终得到一个有效提高平台驱动性能的优化信号。 关键词：纳米技术;惯性粘滑;压电陶瓷; 第一章 绪论 1.1课题背景和意义 当今纳米技术是公认领先的科技领域，纳米技术的发展解决了许多现代科学和工业领域中存在的难题，加速地改变人们的生活，有望在未来代替现有的大多技术，蕴藏着巨大的科学价值、经济价值、社会价值。纳米技术是在纳米尺度上，1nm到l00nm之间，研究物质的特性和相互作用，比如原子和分子，以及利用这些特性的多学科交叉的科学和技术，涉及机械工程、电子信息、材料工程、计算机、生物学等众多学科。该技术中材料的制备和研究都是在纳米尺度下进行的，由执行机构完成对目标对象的驱动定位，其中的驱动器性能直接影响整个系统的驱动定位技术水平。 一般的驱动器是以电动机为动力源，通过机械传动装置驱动负载。电机自身低频震荡、高频失步、能耗较高、发热量大，不适合精密驱动。机械传动机构的传动副具有间隙，也不适合微米级以下精度的定位。所以，传统的机械式驱动技术很难实现对纳米级尺寸的材料进行对准、移动、装配等操作，各国科研工作者正在积极致力于研究新型精密驱动技术，来满足体积小、重量轻、能耗低、高精度定位和跨尺度运动的性能要求。 当前具有代表性的跨尺度精密驱动技术有：尺蠖型驱动、压电超声马达驱动、宏微混合驱动、压电惯性粘滑驱动等。由于结构简单紧凑、生产成本低、精度高、速度快、理论上无限位移等特点，惯性粘滑驱动技术被广泛应用于微型机器人、微纳操作、光学显微、生物医疗、半导体等各个领域，显示出了非常广阔的发展前景。 惯性粘滑驱动器以压电陶瓷作为驱动元件，基于压电驱动原理，利用陶瓷变形的惯性，通过不断的摩擦接触产生近似锯齿形位移。而不同的驱动信号特征，如电压幅值、频率、阶跃时间、驱动信号波形等，直接影响了压电陶瓷的驱动位移、速度、加速度等运动特性，决定了驱动器的驱动效果。分析驱动信号影响惯性粘滑驱动特性的原因，优化现有的驱动信号，有利于改善驱动器性能，提高科技水平和生产效率。因此，对于惯性粘滑驱动信号的研究具有重要的理论意义和实用价值。 1.2国内外研究现状 在上世纪末，国外就已经开始研究惯性粘滑运动机理，并将其应用到驱动技术中。随着压电陶瓷的发现和其表现出的优良响应特性，国内外研究人员已经将压电陶瓷应用于惯性粘滑驱动上，设计出了许多压电驱动的模型和产品设备，在驱动信号对压电陶瓷的影响方面得出了一定的实验成果。 国外的L.Juhas等人[1]1990年就研发出了一个利用惯性粘滑原理的压电驱动器，三条驱动腿由分区极化的压电陶瓷制成。平台靠驱动腿的缓慢弯曲和快速延伸来实现步进式运动。通过合适的信号控制，该驱动器能在平面上移动和竖直方向转动，每一步的精度可以达到0.2m，负载可以达到220g。 图1-2 L.Juhas等人研制的惯性粘滑驱动器 Yassine Haddab等人[2研制了一种闭环惯性粘滑驱动系统，驱动部分利用了堆叠型压电陶瓷的剪切变形。在这个系统中，用PID 控制算法计算扫描运动，用电压/频率比率控制算法计算步进运动，步进运动中的振动得到了显著减小。在驱动信号对压电陶瓷的影响方面，实验得出结论是:信号频率和锯齿波的振幅与运动误差成正比 图1-3 Yassine Haddab等人研制的惯性粘滑驱动平台 日本电气通信大学 Yoshihiro Nomura等人[3]一种用于SEM的惯性粘滑运动平台，可以实现XY平面移动和Z轴转动。平台中设置如图1-4中两两平行的四个压电陶瓷，连接两个对角的惯性块，当平行的两个陶瓷分别伸长缩短时，实现平行线方向的运动;当另外两个也共同作用时，实现竖直方向转动。平台尺寸282816.5mm，下方由三个球体支撑移动。在0.23V及600Hz的输入波形下，可以达到16.8nm的分辨