【国自然】激光微纳制造新方法和尺度极限基础研究.docxVIP

项目名称： 激光微纳制作新办法和标准极限根底研讨 首席科学家： 姜澜 北京理工大学 起止年限： 2011.11-2016.8 依托部分： 信息产业部 一、研讨内容 2.1 拟处理的要害科学问题 要点是超高强度（ 1012W/cm2）、超短脉冲（10-11s）激光微纳加工的功用原理：激光与资料相互效果的物理和化学效应，质量搬迁和功用演化机制与规则，效果时刻和空间的演化进程。描绘超快激光纳米加工进程中的量子效应、标准效应。激光微纳制作的功用原理和标准极限及其使用的共性根底科学问题包含： 科学问题1. 激光能量的吸收、转化、传递与掌控机制 其间心是怎么树立超快激光与物质相互效果的多标准量子模型： 研讨束能吸收机理，包含电子加热、带间跃迁、光致电离（多光子电离、地道电离）、磕碰电离等及其对加工进程的影响。 研讨资料的物理/化学改动，包含改动机制及质量搬迁，固态相变、熔化、蒸腾、气化、相爆破、临界点相别离、库仑爆破、静电烧蚀、凝结、化合、分化、置换、复分化等；资料高精度去除、成长、成形、改性等的物理、化学进程及机理；电子、晶格、团簇的定域能量、传递、物质输运进程与机理。触及光子-电子-声子-等离子相互效果的根底科学问题。 科学问题2. 脉冲序列规划操控外层电子激起/电离进程 因为飞秒激光脉冲宽度比许多物理/化学特征时刻（如电子和晶格的热平衡时刻、乃至电子弛豫时刻）更短，能够经过超快脉冲序列规划来操控/改动被加工资料电子吸收激光光子的进程（挑选性激起/电离）。完结依据外层电子情况操控而改动瞬时部分特性和相变进程的高质量高精度高功率制作新办法。 科学问题3.依据共振吸收的挑选性高功率制作新原理 依据分子滚动、分子振荡、电子激起、电子电离等多能带/能级耦合的和谐共振激起，构成新的制作原理，隔阂结合脉冲序列调理技能并使用电子显微镜、扫描探针显微镜和光镊等完结单原子至微米跨标准制作。经过共振吸收进步加工功率。使用OPA挑选单束激光脉冲的光子能量使之与电子跃迁的某一能级差相对应，可完结共振吸收。这些测验触及制作、光学、物理、资料等多学科的前沿科学问题。 2.2首要研讨内容 2.2.1激光制作的多维性特征及其与资料的相互效果机理 （1）激光吸收机理：光子-电子相互效果 引进量子力学理论，归纳考虑自由电子加热、束缚电子激起、磕碰电离、光致电离（多光子电离、地道电离）等多种激光吸收机理，研讨不同吸收机理对被加工资料的电离进程以及瞬态热力学和光学特性的影响，探究超快激光束能吸收进程对微纳制作精度的影响。 （2）激光诱导相变机理：电子-离子相互效果 经过量子分子动力学和改善分子动力学模仿的办法，考虑熔化、相爆破、临界点相别离、气化、库仑爆破、静电烧蚀等多种相变机理，经过调查被加工资料熔化及碎裂的动态进程以及相应瞬态热力学特性的演化规则，提醒资料相变的微观机理和初始等离子体团构成的规则。 （3）超快激光微纳制作的多标准量子模型 依据激光吸收和相变模型，树立超快激光与资料相互效果的多标准量子模型；使用泵浦-勘探试验体系渠道，针对模型猜测反射率等要害参数进行丈量及调控。 （4）制作新办法的理论根底 依据理论与试验手法，研讨超快激光脉冲序列规划调控电子情况的微观物理机制，提醒脉冲序列规划进步激光微纳制作加工精度等的微观机理，依据理论模型，研讨不同特性的激光束多场能量耦合散布规则，及其与资料间的相互效果机制。 2.2.2. 依据脉冲序列规划和外层电子情况操控的激光制作 在制作新办法方面，经过超快激光脉冲序列规划操控/改动/调理电子激起/电离进程等瞬时部分电子情况，然后改动瞬时部分特性和相变进程的制作新办法。因为飞秒脉冲短于绝大多数化学和物理反响，比方电子和晶格的热平衡时刻，乃至电子弛豫时刻，经过规划超快激光脉冲序列来操控被加工资料电子吸收激光光子的进程（挑选性激起/电离），以及资料瞬时部分特性，然后操控相变进程。首要研讨内容包含： （1）使用本项目提出的多标准量子模型，提醒飞秒脉冲序列中脉冲参数对瞬时部分电子情况、瞬时部分资料特性、加工进程和加工效果的影响机理/规则，并优化飞秒脉冲序列中脉冲参数规划。 （2）使用脉冲整形器在时域中调制飞秒激光脉冲，使每个飞秒单脉冲变成时刻距离从飞秒到皮秒的多个次脉冲。经过调理超短次脉冲的起伏及推迟时刻等操控瞬时部分电子激起/电离进程，然后操控相变进程，完结高质量、高精度、高功率微纳制作。 （3）使用泵浦-勘探技能直接检测调制后的泵浦光与样品发生效果发生的瞬态光学性质改动，检测对外层瞬时部分电子情况调控的效果。 2.2.3. 依据共振吸收的高功率高精度激光微纳跨标准制作 （1）激光-资料的相互效果机制与共振吸收的机理研讨 理论研讨不同特性激光束的多场能量耦合散布规则，及其一起效果下的新机制、效应、规则，以及制作新原理。研讨不同波长（近红