微细电火花成形加工关键技术.docVIP

微细电火花成形加工关键技术 电火花加工技术是实现难加工材料、复杂零件、模具精密加工和特殊零件加工的有效手段，在机械制造领域中起着越来越重要的作用。电火花加工由于其非机械接触加工的特点，适应于微型机械制造的要求。国内外对微细电火花加工技术的不断研究探索[1-2]，已使微细电火花加工在与微型机械制造结合及实用化方面取得了较大的进展。 早在20世纪60年代末，荷兰Philips 研究所Dsenbruggen等人利用微细电火花成形加工技术成功地加工出了直径30μm，精度为0.5μm的微孔。由于当时条件无法解决微细电极的在线制作问题，使得加工效率偏低，加工精度一致性较差，这一成果当时并未引起人们足够的重视。 到了20 世纪90 年代后，随着现代电力电子技术的发展，尤其是线电极电火花磨削（Wire ElectrodeDischarge Grinding，WEDG）技术的逐步成熟与应用，成功地解决了微细电极的在线制作这一瓶颈问题，使得微细电火花成形加工技术进入了实用化阶段，并成为微细加工领域的热点研究内容之一。 微细电火花成形加工的原理与普通电火花成形加工无本质区别，但也有其特殊性，具有以下5项加工关键技术。 微小能量脉冲电源 由于被加工对象微小，而且要达到亚微米级的加工精度及表面粗糙度，因此，必须使单个脉冲的放电能量控制在 10-6~10-7J 数量级之间[3-4]。由于放电过程中，极间电压一