第五章真空获得机械真空泵.ppt

返油 油的返流 油蒸汽逆着气流的方向进入泵入口，并进入真空室 返油量随着真空度的降低而增加 最轻的馏分 防止返油 吸附阱 低返油的泵油（贵） 打开气镇 第三十页，共四十九页。 使用 启动泵 一定的转向和转速 冷却 关泵 回油 放气 电磁阀 Great for pumping on air 2X-2（2L/s） ￥ 1500 维护费用低 防止水汽、杂物(尤其腐蚀性物质)进入泵油 第三十一页，共四十九页。 旋片泵小结 压强范围 大气压---10-3Torr 优点 可靠 价廉 抽大气 缺点 噪音 脏 油 大且重 第三十二页，共四十九页。 分 子 泵 第三十三页，共四十九页。 分子牵引 基本原理：动量传输 分子流条件下，碰撞运动表面的分子，离开表面时具有和运动表面速率u相近的切向速率 气体分子从具有运动的表面得到定向动量 第三十四页，共四十九页。 牵引分子泵-Gaede泵 λ h 特点： 分子平均速度越大，S越大 10000转/分 UB UL和气导相关，反比M1/2， M越大，S越大 优点： 启动时间短 容易抽重气体分子 缺点： 密封间隙太小(h0.1mm) 加工精度，机械故障 UCD: 从C迁移到D的气量 UB: 逆扩散(p1p2) UL: 缝隙漏率 UDC: 逆时针返流 第三十五页，共四十九页。 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 真空物理与技术 第5章 真空获得（机械真空泵） 第一页，共四十九页。 第5章 真空获得 真空泵概述 机械式真空泵 旋片泵 分子泵 罗茨泵 气流泵 扩散泵 俘获泵 吸附泵 低温泵 升华泵 离子泵 第二页，共四十九页。 真空泵概述 第三页，共四十九页。 什么是真空泵？ This is not a trivial question! 能对空间排气（减少气相分子数,产生低压空间）的设备 通过容积压缩排气 ( Bulk action) 机械压缩 动量传输( molecular action ) 分子直接碰撞 夹带：和其他分子碰撞 降低空间气体分子浓度: 气体分子储存在表面时间 实验时间 所有的真空泵都有一定的工作范围: 压强 气体种类 第四页，共四十九页。 抽气原理 降低空间气体分子浓度（钛泵、低温泵） 排出气体：旋片泵 定向运动：扩散泵、分子泵、罗茨泵 “气体二极管” 前进 反向 压力差 返流 （back through-put) 反扩散、脱附 真空泵：能够维持压力差的设备 第五页，共四十九页。 按照抽气方式分类 压缩性真空泵：将气体由一方压缩到另一方 利用膨胀-压缩-排出原理：旋片泵 利用气体束流牵引作用：蒸汽流喷射泵 利用高速表面牵引分子作用：分子泵 吸附型真空泵：利用各种吸附作用将气体吸掉 利用电离吸气作用：离子泵 利用物理、化学吸附作用：吸附泵、低温泵、吸附剂泵 第六页，共四十九页。 按照压强范围分类 粗真空泵: 大气压-10 - 3 torr 旋片泵 旋转柱塞泵 滑片泵 吸附泵 罗茨泵 高真空泵 10 - 3 to 10 - n torr 扩散泵 低温泵 分子泵 离子泵 第七页，共四十九页。 按照排气压强分类 排气压强：泵在此压强下可以排气 往大气排气的泵 前级泵 前级压强 旋片式机械泵 只往低于大气压的环境排气 系统粗抽 需要前级泵（串联） 扩散泵、分子泵、罗茨泵 束缚泵 不需要出气口 第八页，共四十九页。 典型泵组 粗抽:机械泵 主泵:扩散泵 前级:机械泵 第九页，共四十九页。 真空泵性能的基本参数 抽气速率S(抽速) 单位时间流入泵内的气体量Q=S.P S=Q/P 极限压强pu 经过足够长时间的抽气后，所能达到的最低平衡压强 最大工作压强 泵能正常工作的最高压强 使用范围 具有抽气能力的压强范围 排气压强 这一压强下,泵可以可以工作排气 超高真空泵参数 抽气选择性、残余气体组分 第十页，共四十九页。 抽速曲线 工作压强范围 抽速 极限压强 抽速与气体种类的关系 抽速S一般不是常数，随压强变化而变化 第十一页，共四十九页。 抽