可变电容式直线静电电机的驱动器设计.docx

静电电机已被广泛应用于微型电子机械系统领域[1]。与传统电磁式电机相比,毫米级静电电机能产生比相同尺寸的电磁电机更大的功率和力[2]。国内外对于正常尺寸的静电电机研究较少,目前还处于起步阶段[3,4,5]。本文所介绍的可变电容式直线静电电机为正常尺寸的设备。该电机由一对柔性薄膜组成,薄膜上分布着三相电极,三相电极整齐排列并且积累电荷。因为该类电机未使用铁磁材料,所以可在强磁场中完成一些特殊的任务。 静电电机投入到实际的使用中的困难之一是它的驱动电路。电机正常运转需要幅值为千伏级别的交流电压[6]。截至目前,日本东京大学设计了基于正弦波的驱动电路,根据驱动方法可将其分为3类:单频驱动法[7]、调