《表面科学与薄膜技术》课程教学大纲（本科）.pdfVIP

表面科学与薄膜技术 一、课程说明 课程名称( 中/英文) ：表面科学与薄膜技术/ Surface Science and Thin Solid Films 课程类别：学科专业基础课程 学时/学分：32/2 先修课程：高等数学、大学物理、大学化学、物理化学、材料科学基础 适用专业：材料科学与工程专业本科生 建议教材及参考书： （1） 唐伟忠，薄膜材料制备原理、技术及应用，冶金工业出版社，2003 （2 ） M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, (Academic Press, Inc., Boston, 2002). （3 ） 刘敏、余志明等，薄膜与涂层现代表面技术，出版社，2008. （4 ） 孙大明、席光廉，固体表面与界面，安徽出版社，1996. 二、课程设置的目的、意义 薄膜材料及其制备技术是飞速高科技产品的重要支撑。我国在功能薄膜上的研究水 平和研发能力，正逐步进入了国际主流方向，国家已将功能薄膜产业链的各个环节，从 基础研究、应用研究、中式和产业化项目集成于膜科技专项之中，薄膜产业正成为我国 新的经济增长点。因此，十分必要在以大材料专业设置相关课程系统介绍薄膜材料有关 的基础理论、原理和制备技术。 本课程是材料科学与工程专业的一门专业基础课。旨在通过本课程的教学，使学生 熟悉通晓固体薄膜材料的应用领域、制备原理以及常用技术，以及各种功能薄膜材料研 究、开发、生产的全部领域。扩展学生的专业知识。 三、课程目标 3.1 课程对毕业生能力支撑 本课程对应毕业要求标准 2-④、3-②、4-②、5-①、6-②、10-①。具体内容如下： 毕业要求 2-④：掌握分析研究材料生产复杂工程问题所需的专业理论知识。能够运 用所学专业理论知识分析材料组成-工艺-结构-性能的相互关系与制约规律，识别材料生 产过程不同阶段的关键。 毕业要求 3-②：掌握材料设计与生产所需的专业理论知识。通过系统掌握本专业领 域技术基础理论，能够清晰地描述出一个设计任务需求，并能够识别该任务所面临的各 种制约条件，能从多种备选材料生产制备方案和系统里面进行优选。 毕业要求 4-②：能够根据所学的专业知识对实验结果做出科学的解释，并能够对实 验结果中的问题设计合理的解决方案。 毕业要求 5-①：系统地掌握材料科学与工程基础理论，掌握相关技术基础理论和现 代分析方法在材料制备技术中的应用知识与应用技巧；系统地掌握材料工程领域主要制 备技术，深入了解新材料与材料加工新技术的发展方向。 毕业要求 6-②：能正确认知材料科学与工程中新材料与先进加工方法对社会进步的 重大促进作用，了解材料科学与工程对社会对国防的重要意义。 毕业要求 10-①：对本专业领域及其相关行业的国内外现状有了解，能够对本专业 热点问题发表自己的见解。 3.2 课程教学目标 面对功能薄膜材料日新月异的发展，本课程的教学目标是，在“强调共性、强化基 础” 的原则下通过教学使学生达到以下 6 点要求： 1）了解、熟悉各种功能薄膜的结构和性能的特点、应用领域； 2 ）掌握二维晶体学的基本知识，其中主要包括：表面的物理本质、理想表面、表 面重构、清洁表面、实际表面等； 3 ）掌握表面热力学的基础知识，包括：表面自由能的物理本质、一种晶体表面自 由能的计算方法、晶体生长维象理论； 4 ）熟悉并掌握固体功能薄膜材料制备的原理和技术，特别是化学气相沉积、物理 气相沉积（蒸镀、磁控溅射、离子镀），以及复杂的镀膜技术，如各种等离子增强化学 气相沉积等； 5 ）了解固体薄膜成分、结构、性能的测试技术； 6 ）能熟练阅读功能薄膜材料的英文学术文献。 四、教学内容、重点难点及教学设计 本课程分 3 大知识模块： 【模块 1】表面物理、表面热力学与晶体生长唯象理论； 【模块 2 】气相沉积沉积技术，其中包括：化学气相沉积（CVD ）、物理气相沉积 （PVD ）以及各种组合技术，如等离子增强化学气相沉积（PECVDE ）； 【模块 3 】表面分析技术，主要包括俄歇电子能谱（AES ）、扫描探针显微术 （STM）。 具体教学内容及教学设计见下表： 总 学时分配