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微波等离子体的研究进展 1 表面波等离子体源 随着我国长距离高铁元件、自觉能源、太阳能电池、生物聚合物和高聚物表面处理的快速发展，近年来有必要发展大面积均匀、高压、大口径（30cm）的新离心源。此外，晶体薄膜、钻石薄膜和碳纳米管的生产以及大规模密度离子的源也发挥着重要作用。在许多离子源中，扁平表面波逆源（swp）是一个优良的离子源，希望满足上述严格的要求。与其他类型的离子源相比，swp具有许多无法替代的优点：例如，电子电离作用中没有cer离子或螺旋波算子等磁性介质，结构和力学相对简单。由于电极的插入，不会产生像其他类型的杂质污染。获得具有相同密度的大规模密度和稳定的铜件子。利用小的开口天线，可以通过面波传播实现大规模的离子大规模处理。已成为下一代大规模电路加工的有力竞争对手。 在表面波等离子体中,微波(2.45 GHz)是通过狭缝天线耦合进入真空室内的,在狭缝的正下方首先击穿气体放电,形成高密度等离子体.当微波功率高时,电磁波传输到临界密度层要被反射回来,沿介质板和等离子体界面往四周传播,其能量被约束在界面附近的区域内,并随传播距离成指数衰减.如果入射功率足够大,电磁波沿界面传输到真空室壁处的强度还足够强,这样表面波将在腔室内来回反射,在表面波的电场作用下,电子被加速,等离子体就被提供了能量,即可产生大面积均匀的高密度等离子体.目前,在这个领域已取得了很大进步,并且已有好几个表面波等离子体源已经在工业应用中充当重要角色.国内外的研究现状是:(1)日本从1994年开始研究,到1996年基本成熟,1998年实现产业化,2003年改变天线激发方式,完成等离子体参数可控的大面积的SWP[1,3,4,5,6,7,8,9,10,11,12,13,14,15,16,17,18,19];(2)葡萄牙Tatarova等2005年发表文章称他们已完成纯表面波TM33模的生成,用粒子模拟了纯表面波与氩等离子体的耦合和电子与氩气原子活化情况,模拟结果和试验结果的误差在5%以内;(3)我国台湾国立清华大学采用梳状慢波周期结构生成大面积表面波等离子体,并研究了表面电磁波与等离子体间的共振机制;(4)中国科学院等离子体研究所、复旦大学和中国科学技术大学各自完成直径30 cm和直径22 cm的圆柱体表面波等离子体源,进行了大量有关表面波等离子体的特性研究及应用分析[27,28,29,30,31,32,33,34];(5)华中科技大学电气学院在2005年建造了一套长方体表面波等离子体源[35,36,37,38,39,40,41].但是还是有许多问题亟待解决,特别是开槽天线和表面波的耦合机制以及如何优化设计开槽天线的结构等问题还没有得到很好的解决;表面波等离子体的放电机理还不够清楚,特别是低气压下(10 Pa),碰撞模型已不能成立,亟待探寻解释这些现象的理论. 国内外所报道的腔体结构大多是圆柱体,华中科技大学刘明海教授课题组采用矩形腔体结构,狭缝天线可以沿反应室的纵向排成阵列结构,这样天线的数量和结构布局均有很大的选择余地;通过对狭缝天线的优化设计,便可产生大面积均匀的高密度等离子体.考虑到工业实际应用,采用长方体结构可以满足不同领域的需要,因为不但长度可以改变,而且宽度也可以加宽.对于大口径的工业应用,只要微波传输功率足够高,用功率分配器将微波分成几路,将长方体宽边对接便可实现大体积(尺度达1 m)等离子体源.此外,现有的表面波装置激发效率低下,且放电模式跳动,不利实际工艺控制.如何提高放电效率、放电稳定性和均匀性,是迫切需要解决的问题. 2 swp的研究是实验设计的一个重要概念,与其他防范 传统的研究方法有实验观测和理论分析两种,而随着计算机科学的发展出现了数值模拟研究的新手段.此外,为了在地面环境中研究一定参数的等离子体性质,还必须建造相应的实验装置,许多大型实验装置的建造往往涉及特有的工程技术.因此等离子体的研究有赖于实验、理论、数值模拟和工程技术的良好配合,它们作为四个顶角,构成了等离子体研究的四面体结构,两两之间均存在密切的联系. SWP属于非热平衡等离子体,其特点是电子温度远远大于离子和中性粒子的温度,我们把具有此特点的等离子体称为低温等离子体.研究SWP的方法,同样需要从理论、实验、工程技术和数值模拟四个方面着手. 2.1 表面波等离子体源 利用微波在介质表面附近激发出截止密度以上的等离子体,然后微波将在介质与等离子体间形成表面波,具有一定电场强度的表面波在其传输的范围内可生成和维持高密度的等离子体,因此称为表面波等离子体[44,45,46,47,48,49].最早利用表面波激发等离子体的方法是将微波导入到介质管上,在介质管壁上激发出表面波传输,就可在管内生成表面波等离子体[50,51,52,53,54,55].由于表面波通常只存在于介质表面附