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热对流加速度计的研究进展 1 微流动系统 微型机械系统（微型elastic系统）是指基于自主技术（但不限）的小规模系统，设计与制造，集电子、机械和设备于一体的小型系统[1.2]。微流动系统是MEMS的一个重要分支,是构成大多数微系统中感应元件和执行器件的主要组成部分,它包括微传感器、微泵、微阀、微喷和微通道等。在MEMS发展的初期,人们把主要精力都放在微加工技术上,随着硅加工技术的日益成熟,人们发现制约MEMS发展的不再是加工手段,而是微系统中出现的与宏观尺寸下不同的、人们尚未认识清楚的诸如流动和换热等基本问题。正如Mohamed在一篇技术报告中指出,“技术的发展速度超出了人们对存在其中的内部机理的理解能力”。因此,近年来,对微流动系统的研究受到了前所未有的重视,同时也取得了巨大的成就。美国国防部高级研究计划局对 MEMS的市场分析及对未来的预测表明,在未来的几年里,微流体机械的市场分额将占整个MEMS市场分额的一半以上。 作为MEMS的一个组成部分,微流动系统同样具有集成化和批量生产的特点,同时由于尺寸小,可减小流动系统中的无效体积,降低能耗和试剂用量,而且响应快,因此有着广阔的应用前景。例如流体的微量配给、药物的微量注射、微集成电路的冷却及微小卫星的推进等。下面对微流动系统的几个重要部分分别加以介绍。 2 对流加速度计的工作原理 微加速度计在汽车的安全系统、航天器的导航和姿态控制系统及生物医学监控系统中都有广泛和重要的应用。热对流加速度计是一种原理新颖的新型加速度计,它是基于密闭腔体内流体的自然对流进行工作的。图1所示为热对流加速度计的工作原理图,它主要包括装有气体的腔体、一个用来加热气体的加热丝,一对对称布置在加热丝两旁的温度传感器。当加热丝中通过电流受热升温时,流体的密度会因为温度发生变化而变化,若在如图所示的方向上不存在加速度,则两边温度传感器的显示温度相同,若在此方向(或相反方向)上存在一定的加速度,则在腔体内将会形成与加速度方向相同的自然对流,从而使两个温度传感器的显示温度出现差异。 与传统加速度计相比,热对流加速度计的显著特点是结构紧凑简单、加工方便、成本低,对小加速度的敏感性很高,Billat等人使用如图2所示的加速度计测量斜面上的加速度分量用以确定斜面的角度,其加速度精度可达0.1mg左右。 3 基于温度的传感器 图3是一典型的基于温度变化的微型流量传感器的示意图。加热电阻后,由于流体的流动,使得其下游温度高于上游温度,两者的温差包含了流量信息。 图4为Ashauer等人制造的基于温度的微流量传感器,其可测的最小流量为2mL/h,测量精度可达10μL/h,热响应时间常数为2ms。此流量计在医学及生物MEMS上有很重要的应用前景。 4 有不可动阀片 微泵作为一个重要的微流动执行器件,是微流动系统发展水平的重要标志。微泵根据其有无可动阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。有阀型微泵往往基于机械驱动,原理简单,制造工艺成熟,易于控制,是目前应用的主流;无阀型微泵则常常利用流体在微尺下的新特性,原理比较新颖,更适于微型化,具有更大的发展前景。 4.1 压电片驱动微型泵 有阀型微泵一般是利用腔体容积的周期性变化和单向阀门进行工作的。根据驱动薄膜振动的方式不同,有阀微型泵可以分为压电驱动微型泵、静电驱动微型泵和热驱动微泵等。 图5所示为一种使用球形阀的压电片驱动微型泵,它的特点是通过压力腔和内部流道的优化设计,来实现优化的流动状态。 图6所示为一种静电驱动的微型泵。其驱动频率范围是1～100Hz,可以实现的最大流量为350μL/min,最大背压为2.4mH2O。图7所示为清华大学精仪系研究的双层结构双金属驱动微泵,驱动电压为16V,驱动频率为0.9Hz时,输出流量为43μL/min。 4.2 等机械可动部件 尽管有阀型微泵的工作原理较简单,易于控制,制造工艺较成熟,但由于整个泵体中存在阀片等机械可动部件必然受到加工工艺和加工精度的限制,不利于微型化的发展趋势,而且由于阀片的频繁开关,泵体的可靠性和使用寿命也不高。相比之下,无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势。无阀型微泵通常利用了流体在微尺度下的新特点。 4.2.1 双向止流性能 收缩-扩张型微泵是一种比较典型的无阀微泵。它以收缩和扩张的不同形状通道代替了单向阀,利用因流道不对称所引起的压力损失的不对称性来实现流体的泵送,但这类泵的反向止流性能较差。Tsai等人利用气泡的缩胀来驱动收缩-扩张型微泵,其最大流量为5μL/min,驱动频率为250～400Hz,最大泵压为377Pa。 4.2.2 力泵的驱动电压类型 电液动力泵的原理是通过诱导液体中的电荷运动而产生动量,带动流体运动。微型电液动力泵按其驱动电压类型可分为两种,一种是在平行电极间施