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用于激光谐振腔的co 激光加工、激光雷达和外差检测等应用和研究领域通常需要一门二维机器来输出高光束质量的基本模型[1、2、3、4、5、6、7、8、9、10]。由于外部振动、温度变化和激励电源稳定性，输出激光模式通常不稳定，激光功率和频率也会发生变化。人们已经采用多种措施使激光器处于基模运转状态,小孔光阑法是常用选模方法。M.Piche等人建立衍射积分方程详细的分析了单一光阑插入腔内后不同菲涅耳数对不同模式损耗的影响进行了详细的分析,为谐振腔设计提供理论参考。T.Li等人对不同孔径的He-Ne激光器在腔内插入透镜及光阑选择横模。Boaz Lissak等人在CO2激光器的腔内放置直径2.75mm的孔型光阑,实验上获得了光阑在腔内不同位置时横模的变化。在高功率高增益激光器中还可采用非稳腔,增大几何衍射损耗减小菲涅耳数使激光器单横模运转。 为获得可调谐稳定的基模CO2激光,本文设计了结构紧凑,小孔光阑选模的光栅选支射频波导CO2激光器,激光器可长时间工作在EH11模式,激光功率相对稳定。小孔光阑选模方法多用于非波导激光谐振腔,目前还未见用于方波导结构激光器,本文提出的选模方式对方波导激光器的设计有一定的参考价值和实际意义。 1 矩形波导本征模的场内容 波导谐振腔和开放式谐振腔不同,电磁波在波导管中不服从自由空间的传播规律,Katherine D. Laakmann and William H. Steier,Hermann Krammer等人讨论了红外激光在截面尺寸为2a×2b的矩形波导中传输的波导模式,波导管内部为真空,为波导材料的复折射率。求解麦克斯韦方程组并应用矩形波导的相应边界条件,满足近似条件:mλ4a?1?nλ4b?1mλ4a?1?nλ4b?1,得到矩形波导本征模的场分量表述如下: 对于电场沿x方向振动的混杂模ExH: Eixmn=√μ0ε0Ηiymn={sinmπx2acosmπx2a}{sinnπy2bcosnπx2a}ei(γmnz-ωt) 对于电场沿y方向振动的混杂模EyH: Eiymn=√μ0ε0Ηixmn={sinmπx2acosmπx2a}{sinnπy2bcosnπx2a}ei(γmnz-ωt) 式中n,m同时为奇数或偶数,传播因子为: γnm=βnm+iαnm 图1表示了矩形波导中电场沿y方向振动的几个低阶模式的电场结构。场沿x方向的节线数为m-1,沿y方向的节线数为n-1。EH11模在整个横截面内没有节线,其强度在波导轴线上达到最大,而且是线偏振的场,EH11模是矩形波导中最重要的模,也是传输损耗最低的模式。 由图1可以看出,矩形波导CO2激光器可以输出多种模式的激光,如果不采取选模措施,矩形波导结构的CO2激光器输出模式稳定性较差,会随机出现EH11、EH21、EH31模式及混杂模式等各种模式。 2 电极保导与激光谐振腔的工作原理 光栅选支的方波导射频波导CO2激光器谐振腔结构如图2所示,激光器采用一类波导谐振腔结构,谐振腔由输出镜、窗片及光栅组成,小孔光阑放置在窗片和光栅之间。 电极及谐振腔立体结构如图3所示,电极采用金属陶瓷波导结构,经过抛光的上下电极压紧两片三氧化二铝陶瓷片,波导截面尺寸为2.25mm×2.25mm,波导长度为200mm,为保证射频电压在电极上的均匀分布,在上下电极之间并联多个等值电感,调节匹配电路使之谐振与射频源频率80MHz,射频功率由电极的中间注入。整个电极波导结构放在水冷的铝合金真空室内,减小激光器长时间工作受到温度升高带来的影响。激光器一端采用透过率20%的锗输出镜,输出镜由镜片盖固定于真空室,输出镜压紧氟橡胶“O”型圈,起到密封真空室的作用并可调整输出镜的角度调整激光谐振腔。另一端采用两面镀增透膜的ZnSe窗片由镜片盖固定并密封,其透过率为99.5%。靠近窗片位置放置光栅常数为150 lines/mm,一级反射率为85%的光栅,工作方式采用一级振荡。光栅固定在压电陶瓷上并且角度可调,通过调整光栅的角度来选择激光输出谱线,通过调节压电陶瓷上的电压来调节激光器的谐振腔的长度从而可以调谐激光频率。 激光从波导口至反馈系统部分,电磁波遵从自由空间传播规律,当模序数增大时,激光发散角变大。位于光栅及窗片之间的小孔光阑直径为2.25mm,光阑距窗片2.5mm,距离光栅为10mm。 3 激光能量输出 激光器充入混合气体比例为CO2:N2:He=1:1:4,充气气压为8kPa,射频源频率为80MHz,功率0W至180W可调,调节光栅的角度可以在P(16)至P(32)支输出激光。 3.1 激光模式与理论结果的比较 调节光栅角度,使激光输出P(20)支谱线,用激光功率计测量输出功率,在射频源注入功率为180W时,调节压电陶瓷上的电压,激光功率在1W至3W之间变化,同时激光横模也在发生变