黏滑模式压电惯性电机的研究进展.docxVIP

? ? 黏滑模式压电惯性电机的研究进展 ? ? 张建辉，高素成，安大伟，黄卫清 (广州大学 机械与电气工程学院， 广州 510006) 随着半导体工业、光学工程、航空航天、超精密加工、生物医学等行业的迅猛发展，传统电机受制于工作原理和结构形式，逐渐无法满足当前的高精密工作要求，微纳米精密驱动技术研究水平已成为制约当前高精尖行业发展的关键环节[1-6]。在需求的牵引下，以压电陶瓷驱动器、磁致伸缩式驱动器、电致伸缩驱动器、形状记忆合金驱动器等为代表的采用新型功能材料制作驱动元件的新式驱动器成为近年来取代传统电磁制动的重点研发方向[7-10]。 在各式新型驱动器中，压电陶瓷驱动器因精度高、响应快、效率高、可电磁兼容、稳定性高、结构紧凑、可与传感器等实现闭环控制等明显优势[11]，在振动控制、精密光学调整、超声加工、光纤对接、生物医药和纳米加工等领域得到广泛应用。其中基于逆压电效应和惯性位移原理的压电惯性电机更是凭借结构简单、能在较大行程输出的同时实现长距离微纳米级精度、易实现多自由度驱动等特点，成为高精度定位装置、医疗机械以及微型机器人等精密驱动领域的研发热点[12-13]。 黏滑模式压电惯性电机(stick-slip mode inertial piezoelectric motor)是兴起于20世纪80年代的压电电机研究分支，其理论和结构设计研究正处于不断丰富和完善阶段。本文中结合惯性压电电机的最新研究进展，论述黏滑模式惯性压电电机的基本原理和发展情况，并总结黏滑模式惯性压电电机下一步研究的部分要点。 1 基本工作原理 黏滑模式压电惯性电机利用逆压电效应和惯性位移原理，通过摩擦力作用将惯性位移产生的运动传递出去[14]。逆压电效应是指某些各向异性的晶体在外电场的作用下成比例地产生几何形变，形变也会随着外电场的撤除而消失的现象。图1所示的逆压电效应示意图表明,在逆压电效应中可通过控制施加的外电场实现工作所需的特定形变。 图1 逆压电效应示意图 黏滑模式(stick-slip mode)压电惯性电机的惯性位移不同于滑移模式(slip-slip mode)压电惯性电机，黏滑模式惯性位移是基于最大静摩擦力和滑动摩擦力的差异控制滑块的“粘”与“滑”不同状态来实现运动。而滑移模式采用不利用静摩擦力的方法，运动过程中没有“粘”状态，故滑移模式也称作“滑-滑”模式。黏滑模式惯性位移原理如图2所示。 图2 黏滑模式惯性位移原理示意图 当激励信号在从①到②阶段时，压电元件受到缓慢上升的电信号激励开始缓慢伸长，此时惯性质量块缓慢向右运动的同时产生向左的惯性冲击力，由于产生的惯性冲击力小于主质量块与摩擦界面产生的静摩擦力，物体保持原地不动，称为“粘”的过程。当电信号在从②到③阶段时，压电元件受到快速下降的电信号激励迅速缩短，压电元件迅速收缩拉回惯性质量块产生的惯性冲击力大于滑块与摩擦界面产生的摩擦力，此时主质量块开始滑动产生位移,称为“滑”的过程。重复以上运动周期即可实现物体的惯性黏滑运动。 2 信号控制式压电惯性电机 信号控制式压电惯性电机是较早提出的黏滑模式压电惯性电机种类，目前主要采用锯齿波信号等非对称波形信号驱动对称机械结构，形成往复方向大小不等的惯性冲击力在与双向对等的摩擦力综合作用下产生惯性位移[15]。采用信号控制的黏滑模式压电惯性电机从驱动信号入手，通过合适的驱动信号使压电惯性电机产生往复运动的不等惯性力，而静摩擦力大小介于两惯性力之间，完美实现黏滑过程，带动电机运动。信号控制式压电惯性电机原理简单、设计方便，但对驱动信号要求较高，需要满足一定的工作条件(见图3)。 图3 信号控制式压电惯性电机工作原理示意图 Pohl等[16]于1987年设计了采用惯性位移原理的用于纳米精密操作的压电定位平台，较早实现了逆压电效应与惯性位移的结合应用。Higuchi等[17]基于黏滑模式惯性位移，采用压电材料制作了一种惯性冲击压电电机，开启了黏滑模式压电惯性电机的设计阶段。Choi等[18]采用压电叠堆作为驱动元件的黏滑模式压电惯性电机，该方案适用于悬挂系统，可在特定条件下输出较大的力。Mazeika等[19]提出一款采用蝶形结构的新型直线惯性压电电机，发现了在特定的非对称激励信号类型和特定激发频率的条件下电机运转情况能得到优化的现象。Andrius 等[20]提出的旋转惯性压电电机方案是通过两相位差为π的锯齿信号激发第二种面内弯曲模式进行驱动，该设计方案结构扁平，适用于部分对空间和安装体积都有要求的工作情景。 国内对信号控制式压电惯性电机的研究相较于国外起步较晚，但近年来随着越来越多的研究团队加入也取得了不少成果。张宏壮等[21]提出一种端部带有较大质量块的悬臂式惯性冲击压电电机，可以实现平动和转动的2自由度运动。Cheng等[22]提出一种