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光学薄膜优化设计的发展 光学薄膜作为一门学科，已经超过了100年，在光学、激光、航空航天等领域得到了广泛应用。随着新的精密光学仪器的不断涌现, 对镀膜光学元件的光谱性能要求也越来越高, 常规解析法设计的光学薄膜膜系结构已不能完全满足使用要求。 计算机技术的飞速发展为数值方法应用于光学薄膜设计提供了便利。如今, 基于计算机辅助的光学薄膜优化设计已经成为一种广泛应用的膜系设计方法。 1 光学薄膜的优化方法 六十年代以前, 光学薄膜的设计方法主要为解析法。如矢量作图法、等效界面法、虚设层法、车比雪夫 (Chebychev) 多项式法、对称膜系的等效折射率法、势透射率诱导法及导纳图解法等。它们对于通常的干涉膜系, 如减反膜, 高反膜, 带通滤光片等的设计十分有效。然而随着时代的发展, 对研究各种类型的光学多层薄膜提出了更高的要求, 以至于传统的设计方法越来越无法满足要求。于是计算机自动设计和优化膜系就越来越引起人们的重视, 相继产生了各种满足所需光谱特性的自动设计和优化方法, 从而把薄膜设计工作推向了一个新的阶段。 光学薄膜的设计作为一个优化问题来处理, 最早是由Baumeister于1958提出的。20世纪60年代, Shatilov、Tyutikova先后提出并完善了光学薄膜自动综合的渐进法, 其方法是在基底上逐次迭加膜层或膜系, 使得最终获得的膜系具有所要求的光谱特征。1973年, J.A.Dobrowlski又对这种方法进行了改进, 提出了迭加负滤光片来设计光学薄膜的减去法。此后, Sossi提出了综合分析法 (傅里叶合成法), 这种方法的优点是不需要初始设计, 能够在整个波段上合成目标函数, 是一种全自动薄膜合成方法。但是由于这种方法合成得到的折射率是任意变化的, 无论是当时的工艺水平还是现在的工艺水平, 镀制这样的膜系都几乎是不可能的, 因此该方法在当时并未得到太大的重视和应用。 上世纪70年代后, 随着计算机技术和各种数值优化技术的迅速发展及应用, 线性规划法、黄金分割法、单纯形法、最小二乘法、阻尼最小二乘法、变尺度法和转值法等多种传统数值优化方法被应用于光学薄膜的设计, 其中最小二乘法得到了最为成功的应用。同时, 薄膜厚度原位控制技术的不断完善和发展, 又进一步推动了光学薄膜优化方法的研究。 由于传统数值法存在只能收敛到局部极值的缺点, 用这些方法设计得到的结果常常不是最佳的结果。为克服这些缺点, 光学薄膜工作者又在薄膜优化设计中引入了可进行全局优化的多种方法, 如蒙特卡洛法、进化算法和自适应搜索法、模拟退火法、遗传算法等。1982年, 莫斯科大学计算中心的A.V.Tikhonravor提出针形算法, 非常不同于其它优化算法, 针形法是针对光学薄膜膜系优化设计而提出的一种优化技术, 程序实现在1992年完成。针形算法得名于其基本思想, 是在原有折射率分布中通过不断插入较薄膜层, 从而引起折射率分布微小变化-这一变化象针一样微小。J.A.Dobrowlski后来对针形算法进行了较大的改动。改进的针形算法不但可以定义十分复杂的评价函数, 并且可采用多种形式来进行计算和设计, 使光学薄膜的设计变的更加灵活。 光学薄膜的优化设计和计算机技术是密不可分的。20世纪90年代后, 微机的普及使许许多多科研工作者乃至普通人都有了接触它的机会, 且运算速度较其发展初期有了极大的提高, 而诸多新程序设计语言出现又降低了程序设计专业难度。光学薄膜优化设计也再次进入一个蓬勃发展阶段, 膜系优化设计再度成为光学薄膜领域的一个热点, 涌现了许多新的或改进的方法。时至今日, 光学薄膜的计算机辅助优化设计已经成为一种最广泛应用的膜系设计方法。 2 光刻优化设计的原理和评价函数 2.1 光学薄膜参数的求解步骤 一个多层光学薄膜系统的光谱特性如透射率、反射率或吸收率与薄膜厚度、膜层折射率和波长是一个高度非线性多峰函数关系。利用已知的光学薄膜参数 (折射率、几何厚度、波长等) 来计算膜系的光谱特性较容易, 但是根据已知的光谱特性来求解光学薄膜参数则困难的多。其一是由于可用于光学薄膜制备的材料很有限, 折射率这个参数的选择就非常有限, 其二是由于每一个多层膜系统, 往往由十多层, 甚至几十层薄膜所组成, 自变量的数目太多, 导致计算量很大, 复杂程度很高。 光学薄膜优化设计可以分为两类:一类是所谓精炼法;即给出一初始结构, 逐步改进膜系的光谱性能, 直至收敛到某一极值。另一类是自动合成法;即由算法产生初始设计, 在此基础上利用精确法进行迭代, 收敛至某一极值。但无论是哪种设计方法, 其目的都是相同的, 即根据给定的光学薄膜要达到的光学特性, 求出每一层薄膜的物理参数。 2.2 求取积分方法 膜系优化设计的本质, 就是通过建立各类评价函数, 把膜系最优设计归