玻璃激光切割技术的对比研究.docxVIP

玻璃激光切割技术的对比研究 1 玻璃的激光切割技术 激光切割技术是一种成熟的工业加工技术。金属是激光切割的主要对象, 其它可以进行激光切割的材料还有塑料、陶瓷、硅片以及玻璃等。目前全球用于切割金属材料的激光切割设备约有几十万台, 而用于玻璃切割的激光设备包括实验室设备在内也不过只有几十台。实际上, 早在20世纪70年代, 关于激光切割玻璃的研究就已经展开。从原理上讲, 玻璃对红外激光的吸收远比金属好, 而且玻璃是热的不良导体, 玻璃切割所需要的激光功率比金属要低得多, 所以玻璃的激光切割技术应该比金属更早应用于工业生产。但玻璃的激光切割市场却一直没有发展起来。究其原因可能是因为玻璃的切割比较容易, 传统的金刚石刀轮或硬质合金刀轮玻璃切割技术已经发展得很成熟, 工艺简便且成本低廉, 足以满足通常的玻璃切割的要求。时至今日, 玻璃的应用日益广泛, 某些方面的应用对切割质量和切割成品率的要求非常严格, 传统的玻璃切割技术已逐渐不能满足生产的要求。如作为TFT-LCD基板的耐高温、高硬度硼硅玻璃和用于汽车方面的钢化玻璃等。从玻璃厚度方面而言, 浮法玻璃的厚度已经达到了20 mm以上, 而用于平板显示方面的玻璃最薄已经达到0.4 mm, 有些应用于电子产品的玻璃甚至达到0.05 mm。过薄或过厚的玻璃采用机械切割都会影响切割的成品率。现在人们对玻璃的激光切割技术已经研究得很透彻, 激光切割的优越性也逐渐为人们所认识。近年来已经出现了一些用于工业生产的玻璃切割设备, 如德国Grenzebach公司的浮法玻璃在线激光切割设备;德国H2B公司的平板玻璃切割设备;美国Fonon DSS公司用于平板显示方面的玻璃激光切割设备等。玻璃的激光切割技术与传统的切割技术相比具有很多的优越性, 激光切割出来的玻璃边缘光滑、无横向微裂、无碎片, 避免了在板材上出现划伤并且将玻璃破碎的可能性减小到最低程度。当激光技术用于浮法玻璃生产线的在线切割时, 由于不需要二次掰边, 所以原板玻璃的利用率得到了明显提高。运用激光技术切裁1~25 mm厚的玻璃不会产生任何应力问题, 也没有任何调节误差。此外, 由于通过激光切割的玻璃耐断裂的强度较高, 所以, 在许多情况下不再需要对玻璃进行钢化处理。从应用的情况看, 玻璃的激光切割技术可能会在平板显示、汽车玻璃和浮法玻璃生产等领域率先得到推广。 2 玻璃激光切分原理 2.1 玻璃的激光切割技术 一种材料能否进行激光加工很大程度上取决于材料对该波长激光的吸收。图1是厚度为3.88 mm的2种玻璃的吸收光谱。 从图1中可以看出, 当波长在5μm以上时, 玻璃对光有非常高的吸收效率, 所以波长为10.6μm的CO2激光器非常适用于玻璃的激光切割。事实上, 当今世界上绝大多数的玻璃激光切割设备都是采用功率在100~500 W之间的封离型CO2激光器。波长在1μm左右的半导体激光器和Nd∶YAG激光器也可用于激光切割, 但其切割原理不同于CO2激光器。从图1中可以看出, 厚度为3.88 mm的超白玻璃对于波长约为1μm的激光透过率约为80%, 吸收不足20%;而绿玻璃的吸收率要高得多, 约有80%。玻璃对波长约为1μm的激光的吸收属于体吸收。而对于CO2激光器发出的波长为10.6μm的激光, 由于玻璃的高吸收效率, 其进入玻璃表面的深度不足几十微米, 在玻璃表面就被完全吸收。 玻璃的激光切割技术在原理上不同于金属的激光切割。玻璃的激光切割是一种应力切割方式通过玻璃对激光的吸收, 局部急剧升温产生应力, 应力变化产生裂纹从而导致玻璃沿着激光扫描方向开裂。在切割过程中要严格控制温度的上升不能达到玻璃的软化点。而金属的激光切割则采用的是熔融切割方式。在玻璃激光切割研究的早期采取的也是熔融切割方式, 但切割效果并不好, 切割后的边缘还需要进行后处理。所以现在玻璃的激光切割方式都是采用应力切割。 1.2 玻璃切割的特性 现在用于玻璃激光切割的激光器大多采用封离型CO2激光器, 输出功率在100~500 W之间。这个功率区间的CO2激光器技术已经非常成熟, 可以选择的产品很多。例如, Coherent公司的K-150型激光器, 外型尺寸只有99 mm×20 mm×16.5 mm, 重量只有94 kg, 使用寿命超过10 000 h, 集成简单, 操作方便, 使用起来就象高功率灯泡一样简单。板条放电的封离型CO2激光器有2个适于此应用的重要特点。首先, 这种激光器光束质量好, 聚焦特性高, 可以被聚焦到很小的点, 从而显著地提高加工效率和切割质量;更重要的是, 板条放电技术CO2激光器的输出绝对灵活可控, 输出的脉冲能量、脉宽以及重复频率等都可被实时控制, 而不影响光束的聚焦。这个优点对于实际的玻璃切割来说非常重要, 它意味着激光加工的参数可以根据