扫描探针显微镜spm电镜课.pdf

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扫描探针显微镜(ScanningProbeMicroscope)

❖SPM是扫描隧道显微镜STM及原子力显微镜AFM,激

光力显微镜LFM,磁力显微镜MFM等的统称,国际

上近年发展起来的表面分析仪器。

❖控制探针在被检测样品的表面进行扫描,同时记录下

扫描过程中探针尖端和样品表面的相互作用,就能得

到样品表面的相关信息。

❖利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于

控制扫描的定位精度和探针作用尖端的大小(即探针

的度)。

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