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扫描探针显微镜(ScanningProbeMicroscope)
❖SPM是扫描隧道显微镜STM及原子力显微镜AFM,激
光力显微镜LFM,磁力显微镜MFM等的统称,国际
上近年发展起来的表面分析仪器。
❖控制探针在被检测样品的表面进行扫描,同时记录下
扫描过程中探针尖端和样品表面的相互作用,就能得
到样品表面的相关信息。
❖利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于
控制扫描的定位精度和探针作用尖端的大小(即探针
的度)。
S
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