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摘要
摘要
超导体凭借零电阻和完全抗磁性，在多领域发挥关键作用。基于超导体的超
导SIS混频器，其超导SIS隧道结内的超导层是影响混频器性能的关键因素。超
导转变温度高、能隙频率大、稳定性良好的NbN基超导薄膜是超导层常选用的
材料。相比于纯NbN薄膜，NbTiN由于Ti元素的加入，拥有更高的超导转变温
度（TC）和更窄的超导转变宽度（ΔTC），能隙频率高达1.2THz。
本论文首先选择晶格匹配的
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