原创力文档铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
10nm水溶性二氧化硅溶胶
30
－
30nm水溶性二氧化硅溶胶
－
25
二氧化硅粉末
5
15
表面活性剂
5
15
月桂酰单乙醇胺
－
0.3
聚合度为20的脂肪醇聚氧乙烯醚
0.2
－
四甲基氢氧化铵
－
1
氢氧化钾
3
－
去离子水
61.8
58.7
制备方法先将二氧化硅粉末均匀溶解于去离子水中，然后在千级净化室的环境内，常温条件下，在0.1MPa真空负压动力下，通过质量流量计将气相二氧化硅粉末水溶液输入容器罐中，与预先放置在容器罐中的水溶性二氧化硅溶胶混合并充分搅拌，待混合均匀后将其余组份加
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