原创力文档化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
8#
二氧化硅颗粒
5
5
5
－
－
5
5
二氧化铈颗粒
－
－
－
1
－
－
－
二氧化钛颗粒
－
－
－
－
2
－
－
氧化铝颗粒
－
－
－
－
10
－
－
－
铬酸钾
－
－
－
－
5
－
－
硅酸钠
－
－
－
－
1
－
－
－
硝酸铁
－
－
－
－
1
－
－
－
钼酸铵
－
－
－
－
－
1
0.1
脂肪醇聚氧乙烯醚
－
－
－
－
10
－
－
－
乙二胺四乙酸
－
－
－
－
0.1
－
－
0.5
高锰酸钾
－
－
－
10
－
－
－
－
过氧化氢
－
－
－
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