化学机械抛光液 (3).docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

11#

研

磨

颗

粒

SiO2(70nm)

20

－

－

―

－

－

－

－

－

－

10

Al2O3(30nm)

－

10

－

－

－

－

－

－

－

－

－

CeO2(50nm)

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

TiO2(120nm)

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

覆盖铝的SiO2(70nm)

－

－

－

－

10

－

－

－

－

－

－

掺杂铝的SiO2(20nm)

－

－

－

－

－

15

－

－

－

－

－

聚甲基丙烯酸甲酯(150nm)

－

－

－

－

－

－

10

－

－

－

－

SiO2(200nm)

－

－

－

－

－

－

－

10

－

－

－

SiO2(80nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

10

－

－

SiO2(100nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

－

10

－

腐

蚀

抑

制

剂

3-氨基-1,2,4-三氮唑

1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1,2,4-三氮唑

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2-巯基-苯并噻唑

－

－

0.001

－

－

－

－

－

0.5

－

－

苯并咪唑

－

－

－

0.01

－

－

－

－

－

0.08

－

2-巯基-苯并咪唑

－

－

－

－

0.02

－

－

－

－

－

1.2

5-氨基-1H-四氮唑

－

－

－

－

－

0.05

－

－

－

－

－

5-甲基四氮唑

－

－

－

－

－

－

0.08

－

－

－

－

1-苯基-5-巯基-四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

－

－

络

合

剂

膦酸

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

亚膦酸

－

1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

焦膦酸

－

－

0.01

－

－

－

－

－

－

－

－

三偏膦酸

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

六偏膦酸

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

三聚膦酸

－

－

－

－

－

0.05

－

－

－

－

－

多聚膦酸

－

－

－

－

－

－

0.08

－

－

－

－

2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

乙二胺四亚甲基膦酸

－

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

－

二乙烯三胺五甲叉膦酸

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.8

－

羟基亚乙基二膦酸

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1.2

氧

化

剂

过氧化氢

2

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

3.5

过氧化脲

－

0.001

－

－

－

－

1

－

－

－

－

过氧乙酸

－

－

5

－

－

－

－

3

－

－

－

过硫酸钾

－

－

－

0.05

－

－

－

－

4

－

－

过硫酸铵

－

－

－

－

0.01

－

－

－

－

2.5

－

季

铵

盐

型

阳

离

子

表

面

活

性

剂

苯二亚甲基-双（八烷基二甲基氯化铵）

0.0001

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚氧乙烯基（15）-双（十八烷基二乙基溴化铵）

－

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚亚甲基（30）-双（十六烷基二乙基溴化铵）

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

四亚甲基-双（十六烷基二甲基溴化铵）

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

聚氧乙烯基（30）-双（十四烷基二甲基溴化铵）

－

－

－

－

0.0005

－

－

－

－

－

－

八烷基三乙基溴化铵

－

－

－

－

－

0.005

－

－

－

－

－

十二烷基三甲基溴化铵

－

－

－

－

－

－

0.01

－

－

－

0.2

八烷基三甲基溴化铵

－

－

－

－

－

－

－

0.05

－

0.5

－

聚亚甲基（12）-双（十六烷基二甲基溴化铵）

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

－

－

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

12#

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

20#

21#

22#

研

磨

颗

粒

SiO2(70nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

－

5

5

SiO2(80nm)

10

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(100nm)

－

10

10

10

10

10

10

10

10

－

－

腐

蚀

抑

制

剂

5-氨基-1H-四氮唑

1.5

－

－

－

－

－

0.01

－

－

－

－

苯并三氮唑

－

1.8

－

－

－

－

－

－

0.01

－

－

1-苯基-5-巯基-四氮唑

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

2-巯基-苯并噻唑

－

－

－

0.2

－

－

－