原创力文档硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
8#
9#
10#
氧化铈颗粒（10nm）
30
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氧化铈颗粒（150nm）
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2
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氧化铈颗粒（80nm）
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4
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氧化铈颗粒（100nm）
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3
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氧化铈颗粒（1500nm）
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0.2
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氧化铈颗粒（200nm）
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1
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氧化铈颗粒（30nm）
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6
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