微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液
原料配比
原料
配比(质量份)
30nm水溶性二氧化硅溶胶
25
80nm气相二氧化硅粉末
15
月桂酰单乙醇胺
0.3
有机碱
1
去离子水
58.7
制备方法先将气相二氧化硅粉末均匀溶解于去离子水中,然后在千级净化室的环境内,常温条件下,在0.1MPa真空负压动力下,通过质量流量计将气相二氧化硅溶胶混合并充分搅拌,待混合均匀后将月桂酰单乙醇胺和有机碱加入容器罐中并继续充分搅拌,混合均匀即成为本品的抛光液成品。
原料配伍本品各组分质量份配比范围为:磨料I10~40、磨料II5~20、表面活性剂0.01~0.6、PH调节剂1~6、去离子水余量。
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