CN112147737A 一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112147737A

(43)申请公布日2020.12.29

(21)申请号202011014362.8

(22)申请日2020.09.24

(71)申请人南京邮电大学

地址210003江苏省南京市鼓楼区新模范

马路66号

(72)发明人郑加金陈焕权姚杨奚潇睿张仙华余柯涵韦玮

(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224

代理人董建林

(51)Int.CI.

GO2B6/02(2006.01)

GO1D5/353(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

CN112147737A

CN112147737A

(57)摘要

本发明涉及一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，包括如下步骤：高压条件下对单模光纤进行载氢处理；通过相位掩模法对载氢后的光纤进行曝光刻写，得到光纤光栅；通过热重生装置对所述光纤光栅进行高温热处理；对高温热处理后的光纤光栅进行快速淬火冷却处理，得到耐高温光纤布拉格光栅。本发明的耐高温光纤布拉格光栅制作的传感器可在1100℃以上的环境中工作，并且制作的耐高温光纤布拉格光栅的机械性能较好，极大地降低了高温处理对光纤造成的脆性损伤。

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宽带光源

光谱仪

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CN112147737A权利要求书1/1页

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1.一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

高压条件下对单模光纤进行载氢处理；

通过相位掩模法对载氢后的光纤进行曝光刻写，得到光纤光栅；

通过热重生装置对所述光纤光栅进行高温热处理；

对高温热处理后的光纤光栅进行快速淬火冷却处理，得到耐高温光纤布拉格光栅。

2.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述载氢处理时的压力为1Mpa-15Mpa,反应时间为72-144小时。

3.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述曝光刻写时的重复频率设置为20-50HZ,光脉冲能量设置为100-200mJ/Pulse,电压设置为18KV-22KV,曝光脉冲数设置为2000-8000。

4.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述曝光刻写采用准分子激光器实现；所述准分子激光器的输出激光中心波长为248nm。

5.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述高温热处理条件为将光纤光栅以10℃/min的升温速度，从室温升至900℃,并在900℃保温150min。

6.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述淬火溶剂为水基淬火液；所述水基淬火液为盐水、三硝水溶液或PAG淬火液。

7.根据权利要求6所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述盐水为普通盐溶液；所述三硝水溶液为NaNO?、KNO?和NaNO?的混合溶液。

8.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述热重生装置包括宽带光源、光环形器、高温管式炉和光谱仪；所述高温管式炉用于对光纤光栅进行加热；所述宽带光源发出的光经过环形器到达光纤光栅；所述光纤光栅反射回去的光再由环形器进入光谱仪；所述光谱仪用于实时扫描光谱观察光纤光栅的擦除与生长情况。

CN112147737A说明书1/4页

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一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法

技术领域

[0001]本发明属于光纤光栅制作技术领域，具体而言涉及一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法。

背景技术

[0002]光纤布拉格光栅是一种广泛应用于光纤通信和光纤传感领域的关键器件。然而，光纤布拉格光栅在高温环境下长时间工作其光敏特性会逐渐衰退甚至完全擦除，从而限制了其在高温传感领域的应用。通过高温退火可以使光纤布拉格光栅在高温擦除后重新生长形成的热重生光纤光栅，能够在1100℃以上的高温环境中稳定工作，并且性质稳定。高温传感应用领域广泛，多为在工业工程领域应用。如油气井田的温度传感，冶炼厂的高炉，航天发动机的温度监控等。据统计，传统的电子类传感器会随着温度升高故障率也会增大，长期使用会增加误差