CN111052605B 炉控频率基准振荡器及其制作方法 （京瓷帝基廷公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111052605B(45)授权公告日2024.01.16

(21)申请号201880056339.X

(22)申请日2018.09.05

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111052605A

(43)申请公布日2020.04.21

(30)优先权数据

201757922017.09.05FI

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.02.28

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/FI2018/0506272018.09.05

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2019/048737EN2019.03.14

(73)专利权人京瓷帝基廷公司地址芬兰埃斯波

(72)发明人A·奥加A·贾克拉

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256

专利代理师酆迅傅远

(51)Int.CI.

HO3H9/02(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

H10N30/20(2023.01)

H03H3/007(2006.01)

H03L1/02(2006.01)

H03L1/04(2006.01)

H03L7/06(2006.01)

H03L7/083(2006.01)

(56)对比文件

US2017250691A1,2017.08.31

US2016099704A1,2016.04.07

WO2016205770A1,2016.12.22

CN107005224A,2017.08.01

CN107005223A,2017.08.01

CN103444079A,2013.12.11

CN106549649A,2017.03.29

M.SHAHMOHAMMADI等.Turnover

TemperaturePointinExtensional-ModeHighlyDopedSiliconMicroresonators.《IEEETRANSACTIONSONELECTRONDEVICES》.2013,第60卷1213-1220.

A.DARUWALLA等.DistributedLamemoderesonatorsfortemperature-stablehigh

frequencymemsoscillators.《IEEE30TH

INTERNATIONALCONFERENCEONMICROELECTROMECHANICALSYSTEMS》.2017,909-912.

审查员罗艳归

权利要求书2页说明书9页附图6页

(54)发明名称

炉控频率基准振荡器及其制作方法

(57)摘要

B111052605恒温控制器13频率基准振荡器10谐振器19本发明涉及一种温度补偿微机电振荡器及其制造方法。振荡器包括谐振元件，该谐振元件

B

111052605

恒温控制器

13

频率基准振荡器10

谐振器

19

式。选择谐振元件和致动器的特性，使得曲线在85℃或更高的翻转温度处具有高温翻转点。此外，振荡器包括恒温控制器，用于将谐振器元件

CN的温度保持在所述高翻转温度处

CN

CN111052605B权利要求书1/2页

2

1.一种温度补偿微机电振荡器，包括：

-谐振器元件，包括掺杂到平均掺杂浓度的硅，

-致动器，用于激励所述谐振器元件进入谐振模式，所述谐振模式具有在85°℃或更高的高翻转温度处具有高温翻转点的特征频率-温度曲线，以及

-恒温控制器，用于将所述谐振器元件的温度保持在所述高翻转温度处，其中

-所述掺杂浓度为至少1.1×102?cm?3,以及

所述特征频率-温度曲线具有两个翻转点，两个翻转点的一个翻转点是所述高温翻转点。

2.根据权利要求1所述的振荡器，其中所述掺杂浓度为1.1×102?cm?3至1.3×102cm?3,并且所述高温翻转点是在温度范围-40℃至+150°℃内的唯一翻转点。

3.根据权利要求1所述的振荡