CN104409481B 槽栅型直角复合栅场板异质结器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104409481B公告日2017.03.29

(21)申请号201410658901.X

(22)申请日2014.11.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104409481A

(43)申请公布日2015.03.11

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维佘伟波张延涛葛安奎杨翠郝跃

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

(51)Int.CI.

HO1L29/40(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

HO1L21/28(2006.01)

(56)对比文件

US2006/0202272A1,2006.09.14,CN102651388A,2012.08.29,

US2013/0056744A1,2013.03.07,JP特开2013-222939A,2013.10.28,US2