CN119517722A 一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法 （中微半导体设备(上海)股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119517722A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510098695.X

(22)申请日2025.01.21

(71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公司

地址201201上海市浦东新区金桥出口加

工区（南区）泰华路188号

(72)发明人田宁叶如彬

(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

公司31323

专利代理师包姝晴张静洁

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书3页说明书11页附图4页

(54)发明名称

一种下电极组件、等离子体处理设备及其电

压控制方法

(57)摘要

CN119517722A本发明提供一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法，在通过第一偏压电源将第一直流脉冲电压耦合到聚焦环的第一电路中，串联第一电容，通过第一电容的容值来调整聚焦环电压变化时对应的第一斜率，从而减少基片与聚焦环之间的电压差，有效降低基片与聚焦环之

CN119517722A

CN119517722A权利要求书1/3页

2

1.一种下电极组件，其特