ASTM D5464-22 中文版 超纯水中总有机碳 (TOC) 在线与离线检测标准方法.docxVIP

ASTMD5464-22中文版超纯水中总有机碳(TOC)在线与离线检测标准方法

标准基础信息

标准编号：ASTMD5464-22

标准英文原名：StandardTestMethodforOn-LineandOff-LineMeasurementofTotalOrganicCarboninUltrapureWater

发布机构：美国材料与试验协会（ASTMInternational）

发布日期：2022年04月

替代版本：ASTMD5464-18

标准核心定位：半导体超纯水行业TOC检测通用权威标准，同时覆盖**在线原位监测**与**实验室离线取样检测**两大主流工况，规范超纯水ppt级痕量总有机碳、不可吹扫有机碳、可吹扫有机碳检测全流程，解决超纯水极低TOC本底下基线漂移、空气二氧化碳干扰、取样外源污染、在线离线数据偏差等行业共性难题，为SEMIF63-24超纯水TOC指标判定唯一合规检测依据

联动配套标准：SEMIF63-24（半导体超纯水全水质指标）、ASTMD7980-21（超纯水颗粒污染控制）、ASTMD6508-20（超纯水痕量阴离子检测）、ASTMD1193-23（实验室试剂纯水等级）、ASTMD4779（水中TOC通用检测方法）、ISO8245（水质总有机碳测定通用规范）

编制说明：本文为ASTMD5464