精密气动定位系统的发展及应用.pdfVIP

第28卷 第8期 VoI．28 No．8 文章编号：1007—118o(2ol1)o8—0037—08 精密气动定位系统的发展及应用 袁文全 ，巩 岩 (中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要：精密气动定位系统具有高精度、高速、大行程、传动平稳、使用费用低等优点，目前广泛地应用于 光刻、数控机床等诸多精密工程领域。本文按照时间顺序介绍了精密气动定位 系统的发展情况，总结了精密 气动定位系统的应用特点，并指出当前精密气动定位系统一些有待改进的关键技术。 关键词：气动；精密定位；非线性 ；气驱动器 中图分类号 ：TH138 文献标识码：A DOI：10．3788／0ME0037 ProgressandApplicationsofHigh—performancePneumaticPositioningSystem YUANW en—quan，GONGYan (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsnadPhysics， ChineseAcademyofSciences，Chnagchun 130033，China) Abstract： High—performancepneumaticpositioningsystem hassuchadvantagesashigh—precision，highspeed，large stroke，smooth transmition，cost—effectivenessandSO on，and itiswidely appliedtoprecision engineeringsuch as photolithography，CNC，etcatpresent．Theprogressofhigh—performancepneumaticpositioningsystem wasdescribed inchronologicalorder．theapplicationsandkeytechnologies~reresummarized． Keywords：pneumatic；high—precisionpositioning；nonlinearity；pneumaticactuators 引 言 莩 气动系统具有快速反应、大行程、大推力、清 主要的动力传动手段 。然而 ，气动系统也有它固有 基金项 目：国家o2专项基金 (2009ZX02005)资助 Aug． 2011 1 二璺一 第28卷 第8期 Vo!．28 No．8 的缺点，即气体的可压缩性、气缸中活塞阻尼及摩 主要工作是气缸位置控制理论的探索阶段．有关气 擦力 的非线性 、控制阀中气流摩擦力的非线性等， 缸精密定位的研究则较少报道 这些缺点成为气动系统在精密机械工程中应用的巨 到了80年代，随着电子技术的飞跃发展，计算 大障碍。自1954年I1J起，人们开始对气动伺服控制 机运算能力的大幅度提升及在工业上的推广应用 ， 技术进行研究 ，随后分别从数学模型、控制方法 、 使复杂控制系统得以实现。在气缸中气压的控制方 开发新型气动控制元件及采用混合控制技术等方面 面 ，形成两种比较典型的控制方法 ：一种是使用计 对气动定位精度进行改进，使气动系统逐步在微纳 算机结合脉宽调制的方法来控制高速开关电磁阀， 光刻