用热丝法在硬质合金基体上沉积金刚石膜的研究.pdfVIP

第 38 卷第 5 期 理化检验物理分册 Vol. 38 　No. 5 ( ) 2002 年 5 月 PTCA PART A : PHYSICAL TESTIN G May. 2002 试验研究 用热丝法在硬质合金基体上沉积 　　 金刚石膜的研究 刘 　沙 , 易丹青 , 余志明 ( 中南大学材料科学与工程系 , 长沙 410083) 摘 　要 : 用 XRD ,SEM 和 Raman 光谱仪 、洛氏硬度计等分析检测手段 ,研究了经表面两步法侵 蚀后 , YG15 硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构 、显微组织 、化学纯度及粘 结性能等 。结果表明 ,硬质合金基体表面一定深度范围内钴含量的变化 ,对金刚石薄膜的晶体结 构取向、组织形态 、化学纯度及粘结性能等有很大影响 。①在基体表面深度约为 5μ m 范围内, 当 钴含量为 0. 81 % 时 , 金刚石薄膜具有明显的{111}面取向 , 其金刚石纯度较高 ; 而当钴含量为 105 %时 ,具有{110}和{111}面的混合取向 ,其金刚石纯度较低 ,且其薄膜具有较高的内应力 。② 当 CVD 沉积温度为 800 ℃时 ,金刚石薄膜的晶粒度约为 1～3μ m 。③与多边形金刚石薄膜相比, 菱形金刚石薄膜与硬质合金基体具有较高的粘结性能 。 关键词 : 金刚石薄膜 ; 硬质合金 ; 物理性能 中图分类号 : TG135. 5 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : (2002) STUD Y ON DEPOSITION OF DIAMOND COA TIN GS ON WC15 % Co B Y HF CVD L IU Sha , YI Danqing , YU Zhiming (Department of Materials Science Engineering , Central South University , Changsha 410083 , China) Abstract : Morphology , texture , adhesion and chemical quality , of HF CVD diamond coatings on WC - 15 %Co substrates which were pretreated by a two - step etching method were investigated by means of XRD , SEM , hardness tester and Raman spectrum. The results indicated that increasing the Co content from 0. 81 to 1. 05 % within the etching μ depth of 5 m caused a morphology transformation from prism diamond to polygon diamond , and a texture transformation from a {111} orientation to {110} and {111}