Orientation variation along growth direction of millimeter free-standing CVD diamond thinned by mechanical grinding.pdfVIP

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2017-08-20 发布于湖北
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Orientation variation along growth direction of millimeter free-standing CVD diamond thinned by mechanical grinding.pdf

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InternationalJournalofMinerals，MetallurgyandMaterials Volum e21，Number8，August2014，Page839 DOh 10．1O07／s12613-014．0979-5 Orientationvariationalonggrowthdirectionofmillimeterfree-standingCVD diamondthinnedbymechanicalgrinding Xing-kaiWen，Jun-junWei，一longLiu，Jian—ehaoGuo，Liang-xianChen，andCheng-mingLi InstituteofAdvancedMaterialsandTechnology,UniversityofScienceandTechnologyBeijing，Beijing100083，China (Received：29October2013；revised：19March2014；accepted：21March2014) Abstract：A flee．standingdiamondfilm withmillimeterthicknesspreparedbvDCarcplasmajetwashtinnedsuccessivelybymechanical grinding．Theorientationandqualityofhtedima ondfilmswim differenthtickn esseswerechraacterizedbyX—raydiffractionandRanaan spectroscopy．respectively．111eresultsshow arandom grain-orientationdistributionduringtheinitialgrowthstage．Ashtefilm thicknessi11． creases，thepreferredorientationofhtedima ondfilm chnagesfrom (111to(220)．duetothecompetitivegrowthmechanism．Twinnnig generatedduringthenucleationstageapperastosatbilizehtepreferentialgrowthalonghte110direction．111einterplanarspacingofthe (220)plnaeisenlargedasthefilmthicknessincreases．whichiscausedbythenicreaseofnondiamond-phasecarbonandimpuritiesunder htecyclicgas．Inaddition htequalityofhtediamondfilm isbraelydegradedduringhtergowthprocess．Furthermore，htepeakshiftdemon— stratesasignificantinhomogeneityofstressalongthefilm growthdirection．whichresultsfrom competitivegrowth． Keywords：dima ondfiml s；chemicalvapordeposition；grinding；orientation；rgowt hmechanisms；quality ity distribution from hte nucleation surface to ultimate 1．Introduetion growthsurface． Inthisstudy．tochraacterizetheorienattionandqualiyt of Diamondisauniquematerial，whichshowsthehighest diamondfilmsduringhtegrowthprocess，X—raydiffraction ha