波长248nm准分子激光对聚碳酸酯(PC)刻蚀性能地研究.pdfVIP

2003年10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 波长248nm准分子激光对 聚碳酸酯(PC)刻蚀性能的研究 赵泽宇侯德胜董小春杜春雷 (中国科学院光电技术研究所，微细加工光学技术国家重点实验室，成都610209) 摘要：本文主要针对波长248nm准分子激光对聚碳酸酯(PC 研究。着重讨论了准分子激光对于该种聚合物的刻蚀机理，并通过对不同能量密度情况下得到的 不同刻蚀深度的实验结果进行分析计算，得出聚碳酸酯材料对波长248nm激光的吸收系数及其刻 蚀的能量阈值。 关健词：准分子激光；聚碳酸酯；激光刻蚀 1．引言： 准分子激光的工作方式为脉冲式，脉宽一般为十至数十纳秒，其输出峰值功率可达千兆瓦以 上…。本文实验中所用KrF准分子激光器的波长为248nm，脉宽为30ns。准分子激光波长短，光 子能量大，可直接引起材料的光分解，与波长较长的激光加工相比有着不同的刻蚀机制和更好的 刻蚀性能。 准分子激光刻蚀聚合物具有阈值小的特点，一般其能量阈值范围在10～102山，cⅡ12量级范围 内，因而可以直接进行面加工，同时刻蚀的精度可达亚微米量级。准分子激光直接对聚合物表面 进行刻蚀，必须要知道被刻蚀材料对该波长激光的吸收系数、刻蚀的能量阈值等刻蚀参数，根据 这些参数来确定准分子激光的能量密度、脉冲次数等。 本文在对准分子激光刻蚀聚合物的机制进行理论分析的基础上，提出利用激光刻蚀的深度和 能量密度之间的关系，计算出聚合物材料的吸收系数和能量阈值的方法。并根据这一方法，通过 对KrF准分子激光烧蚀PC材料的实验结果进行计算分析，得出PC材料对波长248nm激光的吸 收系数和能量阈值。 2．PC(polycarbonate)材料激光刻蚀机理： 准分子激光刻蚀聚合物的机制比较复杂，一般有三种解释，即光化学、光热和光物理机制。 所谓光化学机制是指被吸收的光子引起材料的分解而形成刻蚀；光热机制指被吸收的光能转化成 热能而引起材料的升温，直至材料被气化或分解而产生刻蚀；光物理机制指的是光化学、光热两 种机制的结合。 在能量密度较大的情况下，准分子激光刻蚀聚合物材料是以光物理机制为主。聚合物分子链 上的化学键由于吸收光子的能量而断裂，引起分解，生成的产物多种多样，如单、双原子、小分 子、分子链、单体以及聚合物的碎片等等口J。这些生成物具有一定的动能，高速喷射出来，脱离 聚合物材料表面，形成刻蚀。 本实验中采用的材料是芳香族聚碳酸酯(PCpolycarbonate)，其分子式为【4】： ．．358．． 2003年10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 聚碳酸酯材料是一种综合性能优良的光学材料，具有很好的韧性和强度，可用于记录、存储 信息的光盘盘基，目前广泛应用于电子工业、机械工业、医疗、军事、航空航天等领域。 Pc材料中的一些主要化学键能如表I．所示： 表1．PC材料中一些主要化学健能 C—C C=0 C—o C=C C—H eV 化学 7．73eV 6．33 3．59eV 3．69eV 4．26eV t能 (单键3．黼ev) (单键3．05eV) 波长248nm光子的能量为5．01eV，大于有机材料中大多数的化学键能。而从上表可以看出， 当激光能量密度足够大时，PC材料中大多数的化学键会吸收248nm光子能量而断裂“。 激光的能量密度必须大于聚合物光化学分解所需要的能量阈值，聚合物才会被刻蚀。相同材 料下，不同波长激光的刻蚀能量闽值各不相同。 根据Lambcrl--Be．er定律，激光入射至聚合物内部深度X处的光能量密度F(x)为： F(x)=Fexp(--ax)