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2017-08-16 发布于安徽
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薄膜热导率测量结构地研究.pdf

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第25卷第4期增刊仪器仪表学报 2004年8月薄膜热导率测量结构的研究。宋青林夏善红陈绍凤吕耀 (中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京 100080) 摘要提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构，其桥状薄膜的面积为800pm× 匀，可减小系统误差。实验中对0．5岫到2}tm的一系列氮化硅薄膜进行了测量，得到了薄膜热导率的尺寸效应。关键词薄膜热导率桥状结构 A for Structure Thermal ofThinFilm MeasuringConductivity Xia Chen LvYao SongQinglinShanhongShaofeng (StateLabTransducer of Technology，InstituteofElectronics，Chineseof Key AcademySciences，Beijing AbstractAnewdevicefor thethermal ofthinfilmis isfabricated measuring conductivity presented．It using is X membranewith beams．Theheaterand process，which800／．tm2000／．tm 30／_￡m×100／1m micromachining bridge thethermometeracrossthe membranethebeamstobeusedtocreateheatfluxandmeasurethe bridge through the heatfluxandthe distributionare itmakesthe membrane，the uniform，SO temperature．On temperature very error low．Siliconnitridethinfilmswiththicknessfrom0．5圳nto areresearchedthetech— systemvery 2／xm using measuredresults thesizeeffectofthethermal forthinfilm． nique．The support conductivity film wordsThin Thermal structure Key conductivityBridge 构，并命名为桥状结构。其自由薄膜上的热流和温度场 1 引言分布均匀，可以减小系统误差。 2测量原理薄膜被广泛的应用于半导体器件和MEMS器件中。在设计器件时，