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微流量泵微小流量控制特性的研究 庞江涛刘理天李志坚 清华大学微电子学研究所北京100084 微流量泵是一类典型的微执行器，在医学、化学、生物T程和电子【程等领域都 有着广泛的应用前景。在不同的应用中对微流量泵的流量控制有不同的要求，其中在 化学分析系统的应用中要求微流量泵能够实现稳定可控的微小流量，对背压力要求不 高，而在其它一些领域则需要实现高背址，大流量的输出。因此，需要对微流量泵的 流量控制特性进行深入研究。 目前，已经研制出各种驱动方式下工作的微流量泵”“，其中铝硅双金属驱动方式 因为它所具有的制作工艺简单，易f与电路集成的特点，得到了较为深入的研究㈣。 本文对铝硅双金属驱动微流量采的流量控制特性，尤其是微小流量控制特性进行r研 究。分析以及测试结果表明商各种控制因素中频率是一种最佳的微小流量控制方法。 一微流量泵结构与工作原理 图l是铝硅双金属驱动微流量泵剖面结构示意图。微流量泵由三层硅微结构芯片 组成。其中芯片l是微流量泵的驱动单元铝硅双金属驱动膜片，驱动膜片由单晶硅膜 和金属铝膜构成，位于单品硅膜与金属铝膜之问的多晶硅电阻构成双金属驱动膜片的 加热电阻。加热电阻与单晶辞膜及金属锅膜之问以氧化硅作为介质隔离层。图形相同 的两层芯片2和3足单晶硅悬臂梁阀片微阀门结构，它们构成了微流量泵的入口阀门 和出口阀门。铝硅取金属驱动膜片与阀门间的密闭空腔称为泵室。 ● i。==i!§霍!。。露蔷塾鬯鬯骘霉!篮挺==：：=；； ’ 广—————■二二二二二二二二=_：_==—————一 |I ，／ 泵室 ＼ ，，^一、，产——一} 2 ＼入几阀门，／ k＼ ／ f一＼ 一。j。。、。一 }。——i ＼ =———————i：再2；了，L一7_0—L匕l———一一 3 ／／ ＼ ／出口阀门＼ ／、、、。．J ＼——J i一 ㈠ 曰 ● 圈 硅 =氧化硅 多晶硅 金属铝 图1铝硅双金属驱动微流量泵剖面结构示意图 当加热电阻施加驱动电压后，加热电阻迅速加热驱动膜片，膜片结构将向上弯曲 变形，造成泵室内部压力降低，从阿使入口阀门打开，出口阀门关闭，流体经入口阀 门由外部进入泵室。终止驱动电压，加热电阻停lE加热驱动膜片，驱动膜片由于散热 整体温度下降，在弹性力的作用下，膜片将逐步回到其初始位置，造成泵室内部压力 不断增加。此时入口阀门关闭，出口阀门打开，流体经出口阀门由泵室排出。至此， 微流量泵完成r一个泵的J目期，因此，当给微流量泵施加连续的周期性驱动电压时， 铝硅双金属驱动膜片将有节律地往复运动，使泵室压力交替变化，入口阀门与出口阀 门轮流导通／关闭．流体则4；断从入11阀门吸入、从出门阀门排出。这样就实现了流 体的定向输运。 ：微流量泉的微小流量控制特性分析 不同的实际应用对微流量泵的流量特性有不同的要求。例如在微化学分析系统 一 -1j，微流量泵的作用是将微量样品泉入反应腔，此时对微流量泵的要求是能够输运并 且控制微小流量，此时流量。般在毫微升罕数微升的数量级。同时在这种情况下，由 j：整个微化学分析系统基本在同一乎面内，因此对微流量泵的输出背压力要求已经不 是首先需要考虑的问题。针对这种微小流量可控的要求，下面分析铝硅双金属驱动微 580 流量